http://ir-heating-master.com/vi/tags/mems/ Recent content in MEMS on Master Infrared Heating Systems Hugo vi Mon, 13 Jul 2026 18:39:41 +0800 http://ir-heating-master.com/vi/posts/mems-sensor-wafer-drying-heater/ Mon, 13 Jul 2026 18:39:41 +0800 http://ir-heating-master.com/vi/posts/mems-sensor-wafer-drying-heater/ <p><img src="http://ir-heating-master.com/images/e359da41a435291bc4b653b358552252.png" alt="Máy sấy wafer cảm biến MEMS"></p> <p><strong>Làm sạch các linh kiện MEMS bằng ánh sáng hồng ngoại</strong><br> Nếu bạn từng làm việc với các cảm biến MEMS, chắc hẳn bạn hiểu rõ những khó khăn trong việc làm khô các tấm wafer. Chỉ cần có một chút nước hoặc chất gây ô nhiễm ion trên bề mặt wafer thôi, toàn bộ sản phẩm đó sẽ trở thành rác thải. Trong nhiều năm qua, chúng ta vẫn phải sử dụng lò sấy kiểu đối lưu, nhưng thực ra việc làm nóng toàn bộ buồng sấy chỉ để làm khô một tấm wafer là sự lãng phí năng lượng khủng khiếp.</p>