http://ir-heating-master.com/zh/tags/%E7%BA%A2%E5%A4%96/ Recent content in 红外 on Master Infrared Heating Systems Hugo zh Wed, 24 Jun 2026 04:33:07 +0800 http://ir-heating-master.com/zh/posts/quartz-sleeve-for-fab-ir-lamp/ Wed, 24 Jun 2026 04:33:07 +0800 http://ir-heating-master.com/zh/posts/quartz-sleeve-for-fab-ir-lamp/ <p><img src="http://ir-heating-master.com/images/0a976f8a438e1a813cc995e9355a4471.png" alt="用于制造红外灯的石英套管"></p> <p>在芯片制造过程中，对光刻胶进行烘烤并非可选项，而是一项必须完成的工序。温度只要变化0.5<a href="https://o-yate.net">摄氏度</a>，就可能导致关键尺寸出现偏差；而一旦有杂质进入反应腔，<a href="https://goldisgood.com">就可能会损</a>坏芯片。我们为红外灯设计的石英套管，正是为应对这些挑战而制造的：它能保持灯光输出稳定，同时确保反应腔内的清洁，从而让整个工艺过程处于受控状态。</p> <p><strong>从技术层面来看，什么才是关键？</strong> 我们会选择高纯度的石英材料，这样才能确保短波和中等波长范围内的光线能够稳定地传递到晶圆上，避免能量损失。套管的几何结构经过精心设计，能够确保晶圆表面的温度均匀性，使得在软烘烤和硬烘烤过程中，温度波动幅度控制在±0.1摄氏度以内。该套管还适合在1-100级洁净室中使用，且在热循环过程中不会产生任何杂质。其接口设计与标准灯具的接口相匹配，因此可以保持良好的对准性和密封性。</p>