Hören Sie auf, Energie zu verschwenden: Eine bessere Methode zur Handhabung von Infrarotwärme
Seien wir ehrlich: Energieverschwendung in einer Halbleiterfabrik bedeutet einfach nur, Geld wegzuwerfen. Die meisten Menschen verwenden weiterhin Standard-Aluminiumreflektoren – doch das Problem ist: Sie sind nicht in der Lage, das gesamte Spektrum des Infrarotlichts abzublenken. Ein großer Teil der Energie geht somit verloren. Das ist eine Verschwendung.
Deshalb haben wir auf goldbeschichtete Reflektoren umgestellt. So wird die verlorene Energie wieder auf die Wafer zurückgelenkt, wo sie hingehört.
Warum Gold?
Aluminium wird zwar von allen verwendet, aber Gold ist bei der Handhabung von Infrarotstrahlung einfach besser. Durch die Verwendung einer präzisen Goldschicht verhindern wir, dass der Reflektor die Wärme aufnimmt. Dadurch erreicht jede Wattstunde, die aus der Stromversorgung kommt, tatsächlich das Ziel. So entsteht eine höhere Wärmestärke – ohne dass man die Leistung der Lampen erhöhen muss. Es ist einfach und effizient.
Es geht um die Krümmung
Ein flaches Metallstück reicht nicht aus. Wir geben viel Zeit darauf aus, die Krümmung des Reflektors genau zu gestalten, damit der Infrarotstrahl richtig fokussiert wird. Wenn die Geometrie auch nur ein wenig falsch ist, entstehen kühle Stellen oder ungewöhnliche Temperaturverteilungen auf dem Silizium. Doch wenn alles richtig eingestellt ist, erreicht man schnell die gewünschte Temperatur – was wiederum zu kürzeren Bearbeitungszeiten führt.
Die „Nachteile“
Nichts ist perfekt. Gold ist zwar hervorragend für die Effizienz, aber es ist weich – viel weicher als anodisiertes Aluminium. Bitte reinigen Sie die Reflektoren auf keinen Fall mit abrasiven Padern. Dadurch wird die Beschichtung beschädigt und die Reflektivität sinkt. Verwenden Sie stattdessen eine kontaktlose Reinigungsmethode.
Außerdem sollten Sie bedenken, dass Sie durch die Konzentration mehr Wärme auf die Wafer mehr Aufmerksamkeit auf die Kühlzonen legen müssen. Sie möchten schließlich nicht die gewünschte Temperatur überschreiten – schließlich wird dann viel mehr Energie verwendet als zuvor.
In Betrieb nehmen
Das Beste daran: Es handelt sich dabei um Ersatzteile, die direkt eingesetzt werden können. Sie müssen Ihr整个 System nicht umrüsten oder einen ganzen Wochenende damit verbringen, alles auseinanderzunehmen. Einfach nur den Behälter austauschen, die Pyrometer kalibrieren, damit diese die zusätzliche Wärme bewältigen können – und schon kann es losgehen.