Stoppen Sie den „Glass Rain“: Schützen Sie Ihre Wafer vor Fehlern der Lampen
In einer Produktionsstätte mit hohen Belastungen kann bereits ein einziger defekter Lampenstrahl Ihren ganzen Arbeitstag – sowie ganze Chargen von Wafern – ruinieren. Wenn eine Quarztube versagt, wird es nicht einfach nur dunkel – die Tube explodiert vielmehr und verspritzt tausende kleiner Glassplitter sowie Staub auf die Produktionslinie. Das ist eine Katastrophe. Genau deshalb haben wir unsere Infrarotlampen so konstruiert, dass sie gegen solche Fehler resistent sind.
Warum gehen die Lampen eigentlich kaputt?
In der Regel liegt es an thermischen Schocks oder dem Verschleiß der Elektroden. Wir verwenden hochreinen fusionierten Quarz – dieser kann die Hitze bei schnellen, hohen Leistungen ausgleichen, ohne zu beschädigen. Doch damit haben wir noch nicht aufgehört. Wir haben außerdem eine bruchfeste Hülle sowie eine spezielle Beschichtung hinzugefügt. Das ist wie ein Sicherheitsnetz: Falls der Glühfaden durchbrennt und die Tube zerbricht, hält die Beschichtung die Fragmente in der richtigen Position. So entsteht kein „Glass Rain“, der Ihre wertvollen Wafer zerstört.
Für extreme Bedingungen konzipiert
Diese Lampen sind für extreme Belastungen ausgelegt. Wir haben viel Zeit in die Abdichtung zwischen dem Quarz und den Anschlussleitungen investiert. Wenn diese Abdichtung schwach ist, dringt Gas ein. Dadurch oxidiert der Glühfaden – und die Lampe geht kaputt. Wir verwenden daher einen verstärkten Abdichungsprozess, damit das Vakuum auch unter extremen Bedingungen erhalten bleibt.
Der faire Kompromiss
Nichts ist perfekt. Durch die zusätzlichen Schutzeschichten nimmt die Infrarot-Übertragung etwas ab. Es kommt wahrscheinlich zu einem Rückgang der ausgestrahlten Wärme um 3–5 Prozent im Vergleich zu einer herkömmlichen Lampe. Man muss möglicherweise die Aufwärmzeiten anpassen oder die Spannung etwas erhöhen, um die gewünschten Temperaturen zu erreichen. Aber ehrlich gesagt: Das ist ein Kompromiss, den man in Kauf nehmen sollte. Ein paar Lampen auszutauschen, ist eine einfache Lösung. Doch ein kontaminiertes Reinraumumfeld nach einem Defekt zu reinigen, ist eine echte Herausforderung.