Nettoyage des capteurs MEMS par rayonnement infrarouge
Si vous avez déjà travaillé avec des capteurs MEMS, vous savez à quel point il est difficile de sécher les galets de silicium. Un simple point d’eau ou une légère contamination ionique suffisent pour rendre tout le lot inutilisable. Pendant des années, nous avons utilisé des fours à convection. Mais soyons honnêtes : chauffer toute une chambre juste pour sécher un galet, c’est une perte d’énergie énorme.
C’est pourquoi nous avons opté pour des lampes à rayonnement infrarouge à ondes courtes. Au lieu de chauffer l’air, ces lampes ciblent directement la surface du galet. Cela permet d’économiser de l’énergie et c’est également plus écologique.
Le principe de fonctionnement
L’avantage des lampes infrarouges réside dans le fait qu’elles agissent par rayonnement. Il n’est pas nécessaire d’attendre que la pièce se réchauffe ; l’énergie atteint directement sa cible. Mais il faut ajuster correctement la densité d’énergie fournie. Si l’on travaille avec des galets de 300 mm, le système de lampe doit être parfaitement calibré. Si la puissance est insuffisante, on risque d’obtenir des marques de séchage inesthétiques. Si elle est trop élevée, cela peut endommager les structures MEMS elles-mêmes. C’est donc un équilibre délicat à trouver.
Les composants utilisés
Pour que cela fonctionne correctement, nous utilisons des enveloppes en quartz de haute pureté. Elles résistent aux chocs liés aux fluctuations de température sans se briser. Nous utilisons également des filaments au halogène, car ils durent plus longtemps et maintiennent une lumière constante.
En ce qui concerne l’équipement, nous utilisons des connecteurs R7 ou SK15. Ils s’installent parfaitement, ce qui évite les problèmes liés aux arcs électriques et facilite le remplacement des lampes pendant la maintenance. En somme, c’est un remplacement simple et efficace.
Les avantages et inconvénients
Passer au rayonnement infrarouge est avantageux pour les objectifs liés à une « usine verte », car cela réduit considérablement le temps de préchauffage et la quantité d’énergie consommée par galet. Mais il y a un inconvénient : toute cette énergie génère beaucoup de chaleur à l’intérieur de l’appareil. Si les ventilateurs et les échangeurs thermiques ne sont pas suffisants, l’appareil surchauffera et les lampes se brûleront bien plus rapidement que prévu.
Lorsque le câblage et le système de refroidissement sont bien configurés, tout fonctionne parfaitement. Les galets peuvent être traités plus rapidement, on économise de l’énergie, et l’espace requis diminue. En somme, on sacrifie un peu de densité d’énergie au début, mais on gagne beaucoup en termes de facture d’électricité à la fin.