Comment optimiser les charges thermiques avec des lampes à double tuyau revêtues d’or
Dans les usines de semi-conducteurs, si le profil thermique n’est pas parfaitement ajusté, cela peut entraîner la destruction des wafers. C’est un jeu à haut risque. Nous avons découvert que l’utilisation de lampes infrarouges à double tuyau et revêtues d’or est le meilleur moyen d’atteindre ces objectifs sans gaspiller d’énergie inutilement.
Pourquoi l’or et ce système à double tuyau ?
Les tuyaux en quartz standards sont poreux ; ils laissent s’échapper l’énergie partout dans le châssis, ce qui constitue un gaspillage. En revêtant l’intérieur du quartz d’or, nous transformons en fait la lampe en miroir. Au lieu que la chaleur se répande partout, elle est renvoyée directement vers le wafer. Ainsi, on obtient un rayon de chaleur ciblé là où c’est nécessaire, et la salle propre ne devient pas une véritable sauna.
De plus, le système à double tuyau est une solution ingénieuse : il double la surface de rayonnement sans occuper plus d’espace. On peut donc utiliser davantage de puissance sans avoir à reconstruire tout le système de chauffage pour accueillir des équipements plus gros.
Les compromis (car il y en a toujours)
On ne peut pas simplement augmenter la puissance sans conséquences. Lorsque ces lampes fonctionnent à plein régime, elles deviennent très chaudes. Ce revêtement en or rend le système efficace, mais cela augmente également considérablement la température de la surface du tuyau. Si les ventilateurs ou les dissipateurs de chaleur ne suffisent pas, les filaments risquent de se brûler. Il faut donc trouver un équilibre entre la quantité d’énergie nécessaire et la capacité du système à évacuer cette chaleur supplémentaire.
Réduire l’empreinte carbone
La plupart des usines tentent de devenir plus écologiques, mais « écologique » signifie souvent simplement « dépenser plus d’argent ». Pas cette fois. Les fours traditionnels sont inefficaces, car ils cherchent à chauffer chaque centimètre cube d’air dans la chambre. C’est excessif. Nos systèmes infrarouges, eux, ciblent directement le substrat. Comme les lampes à double tuyau revêtues d’or atteignent leur température beaucoup plus rapidement, les temps de traitement diminuent. Moins de temps d’attente signifie moins de kilowattheures consommés par wafer. De plus, en les connectant à un système de contrôle par zones, on évite les pics d’énergie causés par les anciens chauffages résistifs. C’est donc une manière plus simple de gérer les processus de fabrication.