फैब फ्लोर पर, आपको पता ही है कि बेकिंग तापमान में 0.5°C का भी परिवर्तन फोटोरेजिस्ट की संरचना को बदल देता है; इसके कारण एक ही कण से पूरा डाइ नष्ट हो सकता है। मीडियम-वेव क्वार्ट्ज हीटर ट्यूबें ऐसी ही परिस्थितियों में ही काम करती हैं। यहाँ थर्मल कंट्रोल कोई सेटिंग नहीं है… यह तो एक प्रक्रिया ही है।
महत्वपूर्ण बातें:
मीडियम-वेव क्वार्ट्ज 2.5–4 माइक्रोमीटर आवृत्ति बैंड में विकिरण उत्पन्न करता है; इसके कारण फोटोरेजिस्ट एवं पतली जल-परतों पर विकिरण सीधे ही पहुँचता है, बिना सब्सट्रेट पर अत्यधिक दबाव डाले। इससे तेज़ एवं नियंत्रित तापन संभव होता है, एवं थर्मल इनर्शिया भी कम रहती है। वेफर की सतह पर तापमान ±0.1°C के भीतर ही रहता है, एवं बैच-दर-बैच इसी स्तर पर ही रहता है। क्लीनरूम-अनुकूल डिज़ाइन के कारण कणों का उत्पादन लगभग शून्य ही रहता है… यह क्लास 1–100 वाले वातावरणों के लिए उपयुक्त है। 5,000 घंटों से अधिक समय तक भी आउटपुट स्थिर ही रहता है, एवं ल्यूमेन में कोई कमी नहीं आती।
हमारे कार्यस्थल पर इसका लाभ:
वेफर को सूखाने हेतु, मीडियम-वेव ऊर्जा सतह पर मौजूद नमी को तेज़ एवं समान रूप से हटा देती है… इससे लिथोग्राफी में कोई समस्या नहीं होती। फोटोरेजिस्ट को प्री-बेक करने हेतु, ट्यूब पूरे वेफर पर एकसमान तापमान बनाए रखती है… इससे विलायकों का निष्कासन भी सुचारू रूप से होता है। यह लाइनविड्थ एवं साइडवॉल प्रोफाइल को नियंत्रित करने में मदद करता है।
हार्ड बेकिंग एवं क्यूरिंग में भी यही स्थिरता महत्वपूर्ण है… इससे पुनर्कार्य की आवश्यकता कम हो जाती है, एवं उत्पादन भी बेहतर हो जाता है। ऊर्जा की खपत भी कम हो जाती है… क्योंकि प्रतिक्रिया तुरंत ही होती है, एवं हीटर 24/7 काम करता है।
ध्यान रखने योग्य बातें:
हीटर को रिफ्लेक्टरों/शील्डों से थोड़ी दूरी पर ही लगाना आवश्यक है… ताकि हॉट स्पॉट एवं तनाव-संबंधी समस्याएँ न हों। हीटर को PLC से सही थर्मोकपल टाइप के द्वारा ही जोड़ना आवश्यक है… एवं यह भी सुनिश्चित करना आवश्यक है कि पावर बस स्टार्टअप के समय आवश्यक धारा को संभाल सके।
रेसिपी समाप्त होने के बाद थर्मल सोकबैक का ध्यान रखना आवश्यक है… ट्यूब तो जल्दी ही ठंडा हो जाता है, लेकिन वेफर सतह पर ताप बना रहता है… इससे अगली बेकिंग प्रक्रिया में समस्याएँ हो सकती हैं… इसलिए प्रक्रिया को ठीक से ही नियंत्रित करना आवश्यक है।