अर्धचालक उत्पादन प्रक्रिया में आईआर लैंपों का उपयोग क्यों किया जाता है?
अर्धचालक उत्पादन प्रक्रिया में “हरित” तकनीकों का उपयोग करना केवल नियमों का पालन करने हेतु ही नहीं, बल्कि हानिकारक वायुओं को दूर करने एवं ऊर्जा की बर्बादी को रोकने हेतु भी आवश्यक है। इसीलिए हमने सूखाने हेतु जलरोधक आईआर लैंपों का उपयोग किया।
ऊर्जा-बचत
पारंपरिक गर्म हवा से सूखाने की प्रक्रिया में बहुत अधिक ऊर्जा खर्च होती है। आईआर लैंप तो सीधे वेफर पर ही कार्य करते हैं; इससे ऊर्जा की बचत होती है।
“गीले क्षेत्रों” से निपटना
रिन्सिंग स्टेशनों में तो हमेशा ही नमी रहती है। यदि वहाँ सामान्य आईआर लैंप लगाए जाएं, तो थोड़ी सी नमी ही उन्हें नष्ट कर सकती है। इस समस्या को दूर करने हेतु हम विशेष क्वार्ट्ज आवरण वाले लैंपों का उपयोग करते हैं। ऐसे लैंप नमी को इलेक्ट्रोडों से दूर रखते हैं।
संतुलन बनाना
हालाँकि, उच्च वाटेज वाले आईआर लैंपों से बहुत अधिक गर्मी पैदा होती है। ऐसी गर्मी से वेफर या फोटोरेसिस्ट नष्ट हो सकते हैं। इसलिए वाटेज एवं कन्वेयर बेल्ट की गति के बीच संतुलन बनाना आवश्यक है।
परिणाम
जब ऐसा संतुलन बन जाता है, तो बड़े एवं ऊर्जा-खपत वाले ड्रायिंग टनलों की आवश्यकता ही नहीं रह जाती। इससे जगह भी कम लगती है, एवं पर्यावरण भी सुरक्षित रहता है।