ワットを無駄にしないで：IR熱を効率的に処理する方法
正直言って、半導体製造工場で電力を無駄にするのは、単なるお金の無駄です。ほとんどの人は従来のアルミニウム製の反射板を使っていますが、問題は、この反射板ではIRランプの全ての波長の光をうまく捕捉できないということです。その結果、多くのエネルギーが機械の筐体内に漏れてしまいます。これは明らかな無駄遣いです。
だからこそ、私たちは金コーティングされた反射板に切り替えました。つまり、失われたエネルギーを再びウェハーに戻すのです。
なぜ金なのか？
アルミニウムは一般的に使われていますが、IR光を扱う際には金の方が優れています。精密に金層を追加することで、反射板が熱を吸収するのを防ぎます。つまり、電源から供給されるエネルギーの全てが目的の場所に届くのです。ランプの電流を上げることなく、より高い熱密度を得ることができます。これが効率的な方法です。
曲率が重要
平らな金属板では十分ではありません。IR光を正確に集中させるために、反射板の曲率には細心の注意を払います。もし幾何学的な形が少しでもずれてしまうと、シリコン上に冷たい部分や奇妙な温度分布が生じてしまいます。しかし、適切な曲率に設定すれば、目標の温度に速く到達でき、サイクルタイムも短縮されます。
注意点
完璧なものはありません。金は効率が良いですが、柔らかすぎます。アノダイズドアルミニウムよりもはるかに柔らかいのです。どうぞ、装置を大切にするために、研磨剤を使って反射板を磨かないでください。そうすると、コーティングが剥がれて反射率が低下してしまいます。非接触式の清掃方法を利用しましょう。また、ウェハーにより多くの熱が集中するため、冷却システムをしっかりチェックする必要があります。以前よりも多くのエネルギーが使われるため、温度制御に注意しましょう。
導入方法
最良の点は、これらは簡単に交換できるということです。システム全体を再配線したり、何日もかけて部品を分解する必要はありません。ただ、ハウジングを交換し、追加の熱に対応できるようにピロメーターを調整すればOKです。