なぜ、秒単位で時間が重要になる場面においては、赤外線加熱の方が強制送風より優れているのか？ もし依然としてウェーハを加熱するために強制送風を利用しているのであれば、それはまるで待っているだけの状態です。 強制送風の仕組みを考えてみてください。空気を加熱した後、その空気がウェーハを温めるのを待つ必要...

粒子の飛散を防ぐ：クラス100の加熱システムを正しく設定する方法 もしクラス100のクリーンルームを運営しているなら、たった一つの粒子があるだけで大変なことになるという現実はご存知でしょう。わずかな破片があっただけで、生産された製品は全て廃棄処分になってしまいます。 問題は通常、加熱素子にあります...

ワットを無駄にしないで：IR熱を効率的に処理する方法 正直言って、半導体製造工場で電力を無駄にするのは、単なるお金の無駄です。ほとんどの人は従来のアルミニウム製の反射板を使っていますが、問題は、この反射板ではIRランプの全ての波長の光をうまく捕捉できないということです。その結果、多くのエネルギーが...

製造現場において、フォトレジストの焼成処理は推奨されるものではなく、必須の工程です。わずか0.5℃の温度変動だけで、ウェーハの寸法に影響が出ます。また、スリーブ内の微粒子一つでも、ウェーハを破壊してしまう可能性があります。当社の石英スリーブは、このような状況に対応するために設計されています。それに...