ゴールドコーティングされたツインチューブ型IRランプを使えば、適切な熱負荷を実現できます。半導体製造工場では、わずかな温度の狂いでもウェーハが壊れてしまいます。これは非常に重要な問題です。私たちの研究によると、ツインチューブ型でゴールドコーティングされたIRランプを使用することが、無駄なエネルギー消費を抑えつつ、正確な温度制御を実現する最良の方法だとわかりました。
なぜゴールドコーティングとツインチューブ構造が必要なのか？
一般的なクォーツチューブは漏電しやすく、エネルギーがチャンバ内全体に散逸してしまいます。これは純粋な無駄遣いです。クォーツチューブの内側にゴールドコーティングを施すことで、ランプを鏡のようにすることができます。そうすると、熱があちこちに広がる代わりに、直接ウェーハに戻ってきます。必要な場所に集中した熱が得られ、クリーンルームがサウナのようになることもありません。
また、ツインチューブ構造は、スペースを取らずに放射面積を倍増させる優れた設計です。より多くのワット数を供給できるため、大きなハードウェアを導入する必要もありません。
但し、何か犠牲が必要です
ただ単に出力を上げればいいわけではありません。このランプを強力に動作させると、非常に高い温度になります。ゴールドコーティングによって効率は向上しますが、それによってチューブの表面温度も大幅に上昇します。冷却ファンやヒートシンクが十分でない場合、フィラメントが破損してしまいます。つまり、必要なワット数と、システムがその余分な熱をどれだけ効果的に排出できるかを天秤にかける必要があります。
カーボンフットプリントの削減
ほとんどの製造工場は環境に配慮しようとしていますが、「環境に配慮する」というのは通常「より多くのお金をかける」という意味になります。しかし、今回はそうではありません。古いタイプのオーブンは、チャンバ内の空気の全ての立方インチを加熱しようとするため、非効率的です。一方、私たちのIRシステムは、直接基板に熱を与えます。ゴールドコーティングされたツインチューブ型ランプを使用することで、処理時間が短縮されます。熱が上がるのを待つ時間が少なくなるため、1枚のウェーハあたりの消費電力も減ります。さらに、ゾーン制御システムと組み合わせることで、古い抵抗加熱器で発生する大きなエネルギー消費を防ぐことができます。これにより、より簡単にクリーンな製造工程を実現できます。