MEMSセンサーワイヤー用乾燥ヒーター

IRを利用したMEMSの乾燥処理 MEMSセンサーの製造に携わったことがある人なら、ウェーハの乾燥処理がいかに面倒かを知っているでしょう。わずかな水分やイオン汚染があっただけで、そのロット全体が廃棄されてしまいます。長年にわたり、対流式オーブンを使ってきましたが、正直なところ、ウェーハを乾燥させる...