왜 금으로 코팅된 IR 램프가 중요한가?
반도체 공장에서는 단순히 와트수를 높이는 것만으로는 충분하지 않습니다. 중요한 것은 그 열이 어디로 가는지입니다.
일반적인 IR 램프의 경우, 에너지가 360도 방향으로 퍼집니다. 반사판이 없다면, 전력의 절반이 기계의 섀시를 가열하는 데 사용됩니다. 이는 낭비일 뿐입니다. 그래서 우리는 금으로 코팅된 반사판을 사용하는 것입니다. 이렇게 하면 낭비되는 에너지를 다시 웨이퍼 쪽으로 보낼 수 있습니다.
금의 특별함
금은 알루미늄이나 광택 처리된 강철보다 적외선을 반사하는 능력이 훨씬 뛰어납니다. 반사판에 얇은 금층을 추가함으로써, 단파 적외선이 하드웨어에 흡수되지 않고 웨이퍼에 도달하도록 할 수 있습니다. 그 결과, 필요한 곳에만 열이 집중되며, 전원 공급 장치에 과부하가 걸리지 않습니다. 정말 효율적인 방법입니다.
열 문제 해결
높은 와트수의 램프를 사용할 때는 상당한 양의 에너지가 발생합니다. 금으로 코팅된 반사판은 그 열을 한 지점에 집중시킵니다. 그 덕분에 경화 과정이 훨씬 빨라집니다. 하지만 이는 냉각 시스템이 더 열심히 작동해야 한다는 것을 의미합니다. 만약 공기 흐름이 적절하지 않다면, 기계의 구조가 손상되거나 예기치 않은 오류가 발생할 수 있습니다.
설치 시 주의사항
이 램프들은 기존 장비에 그대로 교체할 수 있도록 설계되었습니다. 전체 장비를 다시 설치할 필요는 없습니다. 가장 좋은 점은, 금으로 코팅된 반사판 덕분에 필라멘트를 낮은 온도에서도 작동시킬 수 있다는 것입니다. 그 결과, 램프의 수명이 길어지고, 몇 주마다 필라멘트가 손상되는 일도 없습니다.
설치 시 몇 가지 팁을 드리자면, 전기 연결선이 금으로 코팅된 램프의 와트수를 견딜 수 있는지 반드시 확인해야 합니다. 또한 에너지가 매우 집중되므로 오차의 여지가 적습니다. 온도 조절을 위한 PID 컨트롤러를 신중하게 설정해야 합니다.