램프 고장으로 인해 생산성이 저하되는 것을 막으세요.
대량 생산 환경에서 램프가 고장나는 것은 큰 문제입니다. 단순히 가동 중단만의 문제가 아닙니다. 석영관이 파열되면 유리 조각과 화학물질들이 웨이퍼 위로 떨어지게 됩니다. 그러면 웨이퍼는 즉시 폐기되고, 설비를 청소하는 데 오랜 시간과 노력이 필요합니다.
우리는 더 나은 방법을 찾아냈습니다. 바로 가열 요소와 작업물 사이에 석영 유리 장벽을 설치하는 것입니다. 간단하지만 효과적인 방법입니다.
왜 석영인가?
우리는 고순도의 융합 석영을 사용합니다. 이 재료는 충격에 강하기 때문에 온도가 급격히 상승해도 문제가 없습니다. 따라서 램프가 작동할 때 장벽 자체가 깨질 걱정을 할 필요가 없습니다. 이는 일종의 보험이라고 생각하면 됩니다. 전압 변동이나 열충격으로 인해 램프가 폭발하더라도, 장벽이 파편들을 막아줍니다. 그렇게 하면 웨이퍼가 깨끗한 상태를 유지할 수 있습니다.
단점
물론, 유리 장벽을 추가하면 적외선 투과율이 약간 줄어듭니다. 따라서 램프를 그대로 사용할 때보다 열이 100% 전달되지는 않습니다. 하지만 이는 감수해야 할 작은 대가입니다. 필요하다면 와트수를 높이거나 램프를 웨이퍼에 더 가까이 배치하여 목표 온도를 맞출 수 있습니다. 단, 장벽을 설치한 후에는 PID 설정을 다시 확인하여 온도가 너무 높아지지 않도록 해야 합니다.
장비의 지속적인 운영
이 장벽들은 기존 장비에 그대로 설치할 수 있습니다. 따라서 별도의 조작이 필요하지 않습니다. 시간이 지나면 유리가 흐려질 수 있습니다. 이는 단순히 오염된 것일 뿐입니다. 그럴 경우 적외선이 제대로 통과하지 못해 열 분포가 불균일해집니다. 해결법은 전자용 IPA로 간단히 닦아주면 됩니다.
마지막 팁: 전압을 안정적으로 유지하세요. 전압의 변동은 필라멘트에 스트레스를 주어 결국 파손을 유발합니다. 장벽이 있으면 도움이 되지만, 안정적인 전압이 있다면 장벽이 굳이 작동할 필요가 없습니다.