
Op de productieafdeling wordt het verhitten van de fotoreser niet aanbevolen – het is eerder een vereiste die moet worden nageleefd. Een verschil van 0,5°C kan al leiden tot problemen met de nauwkeurigheid van de afmetingen. Eén enkele deeltje kan zelfs schade toebrengen aan de chip. Onze kwartskussens voor de infraroodlampen zijn speciaal ontworpen om deze uitdagingen het hoofd te bieden: ze zorgen ervoor dat de lichtsterkte constant blijft, dat de kamers schoon blijven en dat het proces onder controle blijft.
Wat technisch gezien belangrijk is: Wij gebruiken kwarts van hoge zuiverheid, zodat het licht effectief kan worden doorgegeven over zowel korte als middellange golflengten. Hierdoor bereikt het licht de chip zonder dat er energieverlies optreedt. De vorm van de kussens is zo ontworpen dat er een constante temperatuur op het oppervlak van de chip wordt behouden. Dit zorgt voor een herhaalbaarheid van ±0,1°C tijdens het verhitten. De kussens zijn geschikt voor gebruik in schone ruimtes van klasse 1–100, waarbij er geen deeltjes vrijkomen tijdens het verhitten. De interface past bij standaard lampgehuisjes, zodat de alignering en de Dichtheid van het systeem behouden blijven.
Dit is belangrijk in de litografie- en fotoreserverwerking: je hebt profielen nodig die consistent blijven, ongeacht of het om één partij producten gaat of om meerdere partijen per week. Onze kussens zorgen ervoor dat de lichtsterkte gedurende meer dan 5.000 uur constant blijft. Dit vermindert het risico op fouten en beschermt je thermische budget.
Dit resulteert in minder herwerkingswerk, hogere opbrengsten en betere controle over de afmetingen van de chips. Bovendien wordt er minder energie verspild, omdat de warmte efficiënt wordt overgedragen. Ook wordt onverwachte onderhoudswerkzaamheden verminderd, omdat de apparaten 24/7 betrouwbaar werken.
Enkele praktische tips: Kwarts is sterk, maar het is gevoelig voor mechanische schokken en bepaalde reinigingsmiddelen. Hanteer het product met schone gereedschappen, vermijd contact met het emissieoppervlak en controleer of het compatibel is met de reinigingsmiddelen en koelmethoden die je gebruikt.
Tijdens de installatie moet de alignering van de lampen en de thermische afstanden behouden blijven. Zelfs een kleine misalignering kan leiden tot hotspots en tot een verminderde uniformiteit.