Waarom we IR-lampen gebruiken in de reinigingslijnen voor semiconductoren
Het ‘groener’ maken van semiconductiefabrieken gaat niet alleen om het nakomen van regels. Het gaat er ook om schadelijke VOC’s te elimineren en de enorme energieverbruik te verminderen. Daarom gebruiken we nu waterdichte infraroodlampen voor het drogen van de chips.
In plaats van de lucht en de hele ruimte op te warmen, zoals bij een gewone oven, richten de IR-lampen zich rechtstreeks op de chip. Het is een effectieve manier om waterdruppels te laten verdampen.
Energiebesparing
Traditionele warme-luchtdrogers verbruiken veel energie. Je moet veel geld uitgeven om de omgevingstemperatuur op peil te houden. IR-lampen werken anders: ze stralen kortegolf- of middengolfradiatie uit, die door de vloeistoflaag op de chip heen dringt. Hierdoor trillen de watermoleculen en verdampen ze vrijwel onmiddellijk.
Het is snel. Heel snel zelfs. Omdat de lampen zo snel reageren, is het energieverbruik per chip erg laag. Bovendien worden er geen brandgassen of oplosmiddelen gebruikt, waardoor de schone ruimte een gezonder gebied wordt.
Omgaan met de ‘natte zone’
Reinigingsstations zijn per definitie natte plekken. Als je hier een gewone IR-lamp plaatst, zal deze direct beschadigen zodra er een druppel op terechtkomt. Thermische schokken kunnen ernstige schade veroorzaken.
Om dit te voorkomen, gebruiken we lampen met speciale kwartsomhulsels en afgesloten uiteinden. Hierdoor blijft de vochtigheid bij de elektroden vandaan. Je kunt ze recht boven de reinigingstank plaatsen, zonder je zorgen te maken over stoom of druppels die de lamp kunnen beschadigen.
Het evenwicht vinden
Er is echter wel een nadeel: hoogwaardige IR-lampen genereren veel warmte. Deze warmte is goed voor de snelheid van het drogen, maar het zorgt ook voor veel druk op het koelsysteem. Als het transportband te langzaam draait, kan de chip oververhit raken of kan de fotoreceptor beschadigen. Je moet dus het juiste evenwicht vinden tussen de vermogenssterkte en de snelheid van het band.
Als je dit evenwicht hebt gevonden, hoef je geen grote, energieverslindende droogtunnels meer te gebruiken. Je hebt dan minder ruimte nodig en een proces dat minder schade veroorzaakt aan het milieu.