Чищення MEMS-сенсорів за допомогою інфрачервоного випромінювання
Якщо ви коли-небудь працювали з MEMS-сенсорами, ви знаєте, які труднощі супроводжують процес сушіння пластин. Одна-два краплі води чи навіть незначне йонне забруднення можуть зробити всю партію продукції непридатною для використання. Протягом багатьох років ми використовували конвекційні печі, але, чесно кажучи, нагрівання всієї камери лише для сушіння однієї пластини є значною втратою енергії.
Саме тому ми перейшли на використання ламп інфрачервоного випромінювання короткої довжини хвилі. Замість нагрівання повітря, енергія потрапляє безпосередньо на поверхню пластини. Це ефективніший спосіб, а також кращий для захисту навколишнього середовища.
Аспекти, пов’язані з теплом
Секрет полягає у тому, що інфрачервоне випромінювання діє через випромінювання. Не потрібно чекати, поки кімната нагріється – енергія потрапляє прямо на ціль. Але необхідно правильно налаштувати інтенсивність випромінювання. Якщо використовуються пластини діаметром 300 мм, то лампи повинні бути ідеально налаштовані. Якщо потужність занадто низька, на поверхні пластини будуть видно сліди від недостатнього сушіння. Якщо ж потужність занадто висока, це може пошкодити саму структуру MEMS-сенсора. Це вимагає точного балансування.
Обладнання, яке ми використовуємо
Щоб це функціонувало, ми використовуємо кварцеві корпуси високої чистоти. Вони можуть витримати різке нагрівання та охолодження без появи тріщин. Також ми використовуємо філаменти, наповнені галогеном – вони довше прослужують та забезпечують стабільний світловий вихід.
Що стосується електропідключень, ми використовуємо конектори типу R7s чи SK15. Вони щільно прилягають один до одного, що запобігає проблемам з електричними імпульсами та полегшує заміну ламп під час технічного обслуговування. Це фактично заміна однієї лампи іншою без необхідності змінювати всю систему.
Реальні переваги та недоліки
Перехід на використання інфрачервоного випромінювання є перевагою для досягнення цілей „Зеленої фабрики“ – адже це скорочує час нагрівання та загальну кількість енергії, яка витрачається на сушіння однієї пластини. Але є і недоліки: вся ця енергія створює велику кількість тепла всередині корпусу пристрою. Якщо система охолодження не справляється з цим завданням, корпус перегрівається, а лампи згорають набагато швидше, ніж слід.
Якщо все налагодити правильно, все буде працювати без проблем. Пластини будуть оброблюватися швидше, енергія не буде марнуватися, а енергоспоживання зменшиться. Фактично, ми жертвуємо трохи початкової інтенсивності випромінювання заради значно менших витрат на енергію в кінцевому підсумку.