Чому ваша система висушування за допомогою інфрачервоного випромінювання потребує якісного відбивача
Щоб перейти на „зелені“ технології у виробництві напівпровідників, зазвичай доводиться позбутися старих конвективних печей. Сьогодні ми використовуємо інфрачервоне випромінювання для висушування – адже воно діє безпосередньо на поверхню пластини. Але проблема полягає у тому, що сама лампа є своєрідною втратою енергії. Без якісного відбивача половина енергії йде марно, на користь корпусу пристрою. Це зовсім не ефективно.
Як досягти ефекту нагрівання саме там, де це необхідно?
Уявіть, як працює інфрачервона лампа – вона випромінює тепло в усіх напрямках, на 360 градусів. Але нам потрібен лише той тепло, який потрапляє на поверхню пластини. Саме тут і приходять на допомогу відбивачі, покриті золотом чи з високочистим алюмінієм. Вони збирають всю ту енергію, яка втрачається, та відбивають її назад на пластину. Це простий трюк, але завдяки йому можна збільшити інтенсивність нагрівання без необхідності використання більшої кількості енергії. Це дозволяє швидше досягти необхідної температури та значно скоротити витрати на електроенергію.
Небезпека недостатньої точності
Під час проектування відбивача необхідно точно підібрати його форму так, щоб вона відповідала фокусній відстані лампи. Якщо є навіть кілька міліметрів помилки, з’являються „гарячі точки“. А це є серйозною проблемою – це призводить до нерівномірного нагрівання чи, у найгіршому разі, до деформації пластини, яку доведеться викинути. Саме тому ми використовуємо матеріали, які можуть витримувати постійне нагрівання та охолодження, не окислюючись та не втрачаючи своєї відбивної здатності.
Компроміс
Краща відбивна здатність дозволяє економити енергію, але водночас призводить до більшого концентрування тепла. Якщо використовуються лампи з високою потужністю, сам відбивач може нагрітися до небезпечних значень. Тож необхідно ретельно продумати систему охолодження. Інакше лампи можуть зламатися. Але якщо все зроблено правильно, різниця буде значною – час очікування зменшується з годин до секунд. Крім того, пристрій займає менше місця, і не витрачається енергія на нагрівання повітря, яке навіть не торкається продукту. Це просто більш ефективний спосіб роботи.