Чому ми використовуємо інфрачервоні лампи у процесах промивання напівпровідникових пластин
Перехід на „зелені“ технології на заводах з виробництва напівпровідників – це не просто формальність. Йдеться про усунення шкідливих речовин та скорочення енергоспоживання. Саме тому ми почали використовувати водонепроникні інфрачервоні лампи для сушіння.
Різниця полягає у тому, що замість нагрівання повітря та всієї кімнати, як у звичайних печах, інфрачервоне світло діє безпосередньо на саму пластину. Це дозволяє ефективно сушити її.
Скорочення енергоспоживання
Традиційне сушіння за допомогою гарячого повітря є дуже енергозатратним процесом. Доводиться витрачати багато коштів на підтримку потрібної температури. Інфрачервоне світло працює по-іншому: воно випромінює коротко- чи середньохвильове світло, яке проникає крізь рідку плівку на пластині, змушуючи молекули води коливатися та випаровуватися майже миттєво.
Цей процес відбувається дуже швидко. Через це не потрібно так багато енергії для сушіння однієї пластини. Крім того, не утворюються продукти згоряння чи розчинники, що робить приміщення значно безпечнішим для роботи.
Проблема „вологої зони“
Станції промивання за своєю природою є вологими. Якщо туди помістити звичайну інфрачервону лампу, вона може зламатися відразу після контакту з краплею води. Тепловий удар є серйозною проблемою.
Щоб уникнути цього, ми використовуємо лампи з спеціалізованими кварцовими оболонками та герметичними кінцевими елементами. Це дозволяє уникнути контакту вологи з електродами. Лампи можна розмістити прямо над ємністю для промивання, що дозволяє не хвилюватися щодо пари чи крапель води.
Знаходження оптимального балансу
Є одна проблема – лампи з високою потужністю створюють велике навантаження на систему охолодження. Якщо конвеєр рухається занадто повільно, пластина може перегрітися чи пошкодитися. Потрібно знайти оптимальний баланс між потужністю лампи та швидкістю руху конвеєра, щоб уникнути пошкоджень пластини.
Як тільки цей баланс буде знайдений, можна відмовитися від великих та енергозатратних пристроїв для сушіння. Таким чином, простір буде значно меншим, а процес сушіння буде більш екологічним.