Hãy ngừng lãng phí năng lượng: Cách tốt hơn để xử lý nhiệt từ ánh sáng hồng ngoại
Thành thật mà nói, việc lãng phí năng lượng trong các nhà máy sản xuất bán dẫn chẳng khác gì việc vứt tiền đi. Hầu hết mọi người vẫn sử dụng các tấm phản xạ bằng nhôm thông thường, nhưng vấn đề là chúng không thể phản xạ toàn bộ bức xạ hồng ngoại. Phần lớn năng lượng này bị lãng phí, chảy vào thân máy. Đó là sự lãng phí lớn.
Đó là lý do tại sao chúng tôi chuyển sang sử dụng các tấm phản xạ được phủ lớp vàng. Nhờ vậy, chúng ta có thể thu hồi lại phần năng lượng bị lãng phí và chiếu trở lại lên wafer, nơi mà năng lượng đó cần được sử dụng.
Tại sao lại chọn vàng?
Mọi người thường sử dụng nhôm, nhưng vàng lại hiệu quả hơn khi xử lý bức xạ hồng ngoại. Bằng cách phủ một lớp vàng mỏng lên bề mặt tấm phản xạ, chúng ta có thể ngăn chặn việc tấm phản xạ hấp thụ nhiệt. Điều này giúp mỗi watt năng lượng được cung cấp đều được sử dụng một cách hiệu quả. Bạn sẽ nhận được nhiều nhiệt hơn mà không cần tăng công suất của đèn. Rất hiệu quả và đơn giản.
Yếu tố quan trọng là độ cong của tấm phản xạ
Một tấm kim loại phẳng thì không thể hoạt động hiệu quả được. Chúng tôi dành rất nhiều thời gian để tối ưu hóa độ cong của tấm phản xạ, nhằm đảm bảo rằng chùm tia hồng ngoại được tập trung đúng mục tiêu. Nếu độ cong không chính xác, bạn sẽ gặp phải những vùng có nhiệt độ thấp hoặc sự chênh lệch nhiệt độ bất thường trên wafer. Nhưng khi mọi thứ được điều chỉnh đúng cách, bạn sẽ đạt được nhiệt độ mong muốn nhanh hơn, từ đó giảm thời gian xử lý.
Nhược điểm
Không có gì là hoàn hảo cả. Vàng rất hiệu quả trong việc phản xạ nhiệt, nhưng nó lại mềm hơn nhiều so với nhôm được xử lý bằng phương pháp anode hóa.
Xin đừng dùng các miếng đánh bóng để làm sạch tấm phản xạ này. Nếu làm vậy, lớp phủ trên tấm phản xạ sẽ bị mài mòn, dẫn đến giảm khả năng phản xạ nhiệt. Hãy sử dụng phương pháp làm sạch không tiếp xúc.
Ngoài ra, hãy nhớ rằng vì bạn đang tập trung nhiều nhiệt hơn vào wafer, bạn cần kiểm tra kỹ các khu vực làm mát. Bạn không muốn nhiệt độ vượt quá mức cho phép, vì điều đó sẽ khiến bạn phải sử dụng nhiều năng lượng hơn bình thường.
Cách sử dụng
Điều tuyệt vời nhất là những tấm phản xạ này có thể thay thế ngay lập tức. Bạn không cần phải sửa đổi toàn bộ hệ thống hay mất thời gian để tháo rời các bộ phận. Chỉ cần thay thế tấm phản xạ cũ bằng tấm phản xạ mới, điều chỉnh lại các thiết bị đo nhiệt để đối phó với lượng nhiệt tăng lên, và bạn đã sẵn sàng sử dụng nó.