Trong quy trình sản xuất, việc sử dụng nhiệt để xử lý vật liệu phơi ảnh không phải là một giải pháp khuyến nghị; đó thực chất là một quy trình yêu cầu kiểm soát nhiệt độ chính xác. Chỉ cần chênh lệch nhiệt độ 0,5°C thôi cũng có thể làm thay đổi kích thước của các chi tiết trên wafer. Một hạt bụi nhỏ cũng có thể gây hư hại cho wafer. Vì vậy, ống bằng thạch anh dùng để bảo vệ các bóng đèn IR được thiết kế để duy trì nhiệt độ ổn định, giữ cho buồng sản xuất sạch sẽ, và đảm bảo quy trình được kiểm soát tốt.
Điều quan trọng về mặt kỹ thuật:
Chúng tôi sử dụng thạch anh có độ tinh khiết cao để đảm bảo khả năng truyền năng lượng ổn định qua các bước sóng IR ngắn và trung bình. Nhờ đó, năng lượng có thể truyền đến wafer mà không bị tổn thất. Hình dạng của ống bảo vệ được thiết kế sao cho đảm bảo sự đồng đều về nhiệt độ trên toàn bộ bề mặt wafer, với độ chính xác lên đến ±0,1°C trong quá trình xử lý bằng nhiệt. Ống bảo vệ này được thiết kế để hoạt động trong môi trường phòng sạch loại 1–100, với khả năng loại bỏ hoàn toàn các hạt bụi trong quá trình vận hành. Điểm tiếp xúc của ống bảo vệ với bóng đèn cũng được thiết kế sao cho đảm bảo tính đồng bộ và độ kín của buồng sản xuất.
Điều này rất quan trọng trong quy trình in ấn và xử lý vật liệu phơi ảnh: bạn cần đảm bảo rằng các thông số nhiệt độ luôn ổn định suốt quá trình sản xuất. Ống bảo vệ này giúp duy trì nhiệt độ ổn định trong hơn 5.000 giờ sử dụng, từ đó giảm thiểu sự biến đổi nhiệt độ và bảo vệ ngân sách năng lượng của bạn.
Điều này giúp giảm số lần phải làm lại sản phẩm, nâng cao tỷ lệ thành phẩm, và đảm bảo sự kiểm soát chính xác về kích thước của các chi tiết trên wafer. Ngoài ra, ống bảo vệ này còn giúp giảm lãng phí năng lượng nhờ khả năng truyền nhiệt hiệu quả, đồng thời giảm chi phí bảo trì do hoạt động ổn định 24/7.
Một vài lưu ý thực tế: Thạch anh rất bền, nhưng lại nhạy cảm với các tác động cơ học và một số hóa chất dùng để vệ sinh. Hãy sử dụng dụng cụ sạch để xử lý thạch anh, tránh tiếp xúc với bề mặt phát nhiệt của bóng đèn, và kiểm tra xem liệu thạch anh có tương thích với các chất tẩy rửa và hệ thống làm mát trong buồng sản xuất hay không.
Khi lắp đặt, cần đảm bảo rằng vị trí của bóng đèn vẫn được giữ nguyên và khoảng cách nhiệt độ vẫn được duy trì. Ngay cả sự lệch nhỏ trong vị trí bóng đèn cũng có thể gây ra những điểm nóng và làm giảm độ đồng đều về nhiệt độ.