晶圆处理设备用温度传感器

在处理易挥发化学物质时使用红外线加热设备，如何确保安全呢？ 当用化学试剂对晶圆进行清洗时，所使用的溶剂大多不耐高温，而且具有易燃性，有时甚至可能爆炸。将高温度的红外线灯放入这种环境中，无疑是在自找麻烦。 解决这个问题的关键并不在于让红外线灯变得更安全，而在于如何正确地保护它。 防止火花产生 大多数...