Čištění MEMS senzorů pomocí infračerveného záření
Pokud jste někdy pracovali s MEMS senzory, víte, jaký problém představuje sušení destiček. Stačí jediná kapka vody nebo trocha iontové kontaminace a celá série je k ničemu. Po léta jsme spoléhali na konvekční trouby, ale buďme upřímní – zahřívání celé komory jen proto, abychom vysušili jednu destičku, představuje obrovskou ztrátu energie.
Proto jsme přešli na krátkovlnné infračervené lampy. Místo zahřívání vzduchu působíme přímo na povrch destičky. Je to efektivnější a pro planetu mnohem lepší.
Stránka spojená s teplem
Tajemství spočívá v tom, že infračervené záření působí prostřednictvím radiace. Nemusíte čekat, až se místnost ohřeje – energie působí přímo na cíl.
Je však potřeba správně nastavit hustotu energie. Pokud pracujete s destičkami o velikosti 300 mm, musí být uspořádání lamp dokonale našlápnuté. Pokud je výkon příliš nízký, objeví se ty otravné pruhy po sušení. Příliš vysoký výkon zase může poškodit samotné struktury MEMS senzorů. Je to tedy otázka rovnováhy.
Prostředky, které používáme
Aby to fungovalo, používáme kvartové obaly vysoké čistoty. Ty dokážou odolat náhlému zahřívání a chlazení bez prasknutí. Používáme také vlákna naplněná halogenem – ty vydrží déle a udržují stabilní výkon světla.
Co se týká hardwaru, používáme konektory R7s nebo SK15. Přesně sedí, což znamená, že nedochází k nežádoucím efektům a výměna lamp během údržby je mnohem jednodušší. V podstatě jde o jednoduchou náhradu.
Skutečná výhoda
Přechod na infračervené záření je výhodný z hlediska cílů „Zelené továrny“ – snižuje se doba ohřevu a celkové množství energie spotřebované na jednu destičku.
Ale existuje i nevýhoda. Veškerá ta energie vytváří velké množství tepla uvnitř zařízení. Pokud vaše chladicí ventilátory a výměníky tepla nejsou dostatečně silné, zařízení se přehřeje a lampy se vybijí mnohem rychleji, než by měly.
Jakmile máte vyřešené problémy s vedením energie a chlazením, vše funguje perfektně. Destičky procházejí procesem rychleji, energie se neplýtvá a celková spotřeba energie klesá. V podstatě obměňujete trochu počáteční hustoty energie za mnohem nižší účty na konci měsíce.