Im Produktionsbereich ist die thermische Verdrift während des Trocknens der Wafer oder beim Erhitzen des Photoresists nicht nur ein Problem für die Produktivität – sie verändert außerdem die kritischen Abmessungen der Wafer und verringert somit die Ausbeute. Es wird daher eine Heizung benötigt, die schnell reagiert, konstant bleibt und gleichzeitig sauber arbeitet – Schicht für Schicht.
Unsere PECVD-Heizelemente nutzen kurzwellige Energie, um eine schnelle thermische Reaktion zu erzielen. Dadurch wird eine Homogenität auf Waferebene von ±0,1°C während des gesamten Prozesses gewährleistet. Quarzkörper sowie speziell entwickelte Fäden sorgen dafür, dass keine Partikel entstehen – somit bleibt die Umgebung in einer Reinraumklasse 1–100. Die Leistung bleibt über 5.000 Stunden hinweg stabil, mit weniger als 5% Intensitätsverlust – dadurch bleibt das thermische Verhalten wiederholbar. Das System lässt sich einfach in bestehende PECVD- und thermische Prozessmodule integrieren. Es gibt standardmäßige Spannungsoptionen, und die kompakte Bauweise stört nicht die Anordnung der Geräte.
Beim Trocknen und Reinigen der Wafer sorgen die Heizelemente für eine schnelle Desorption ohne thermische Verzögerungen – dadurch wird die Zykluszeit verkürzt, während gleichzeitig die Oberflächenfeuchtigkeit auf den Wafern vermieden wird. In der Lithografie ermöglichen sie eine präzise Temperaturregulierung, was wiederum die Stabilität der Photoresistprofilen sowie die Homogenität der Abmessungen der Wafer verbessert. Bei der Verpackung sorgen sie für eine schnelle, gleichmäßige Aushärtung der Schutzschichten – dadurch wird die Zeit im Ofen verkürzt, ohne dass die Haftung beeinträchtigt wird.
In Kombination mit energieeffizienter Steuerelektronik sinkt der Energieverbrauch im Vergleich zu resistiven Heizern. Zudem werden die Wartungsintervalle verlängert, da es keine heißen Fäden gibt, die den Prozessgasen ausgesetzt sind.
Wichtig bei der Installation ist, dass die Geometrie des Reflektors sowie der thermische Regelkreis des Geräts optimal aufeinander abgestimmt werden. Wir liefern Kalibrierungskarten für gängige Kammerkonfigurationen. Wenn man von mittelwelligen zu kurzwelligen Heizelementen wechselt, sollte man mit einer etwas längeren Anlaufzeit rechnen. Stellen Sie außerdem sicher, dass die Platzierung der Sensoren mit dem von uns bereitgestellten thermischen Profil übereinstimmt. Verwenden Sie außerdem Montagehardware, die für Reinräume geeignet ist, und überprüfen Sie außerdem die Kompatibilität der Gasschläuche, damit keine Kondensation an den Schnittstellen entsteht.