Hören Sie auf, die Wände der Maschinen zu erhitzen – und beginnen Sie stattdessen damit, die Wafer zu trocknen. Wenn Sie schon einmal Zeit mit...

Reinigung von MEMS-Sensoren mit Infrarotstrahlung Wer schon einmal mit MEMS-Sensoren gearbeitet hat, kennt das Problem der Trocknung der Wafer. Schon...

Auf der Produktionsfläche hängt das Verhalten des Fotolacks vom thermischen Profil ab – insbesondere während des Weichbrennvorgangs und des...

Out auf dem Lithografie-Boden verlässt die Wafer den letzten Spülvorgang und die Uhr beginnt zu laufen. Konventionelles Trocknen hinterlässt...