در کارخانههای تولید، نوسانات دمایی میتوانند عاملی باشند که باعث کاهش کیفیت محصول شود؛ این نوسانات را همیشه نمیتوان مشاهده کرد. اگر دما ۰.۵ درجه سانتیگراد تغییر کند، این موضوع میتواند باعث تغییرات در کیفیت CDها شود. همچنین، وجود رطوبت پس از تمیزکاری نیز میتواند منجر به مشکلاتی در فرآیند بستهبندی شود. در فرآیند بستهبندی، عدم یکنواختی در خشک شدن مواد میتواند باعث تغییرات در کیفیت محصول شود. بنابراین، نیاز به دمای ثابتی وجود دارد؛ دمایی که در محیط مشخص شده تحت کنترل باشد.
از نظر فنی، چه چیزهایی اهمیت دارند؟
ما لامپهایی را طراحی کردهایم که در محیطی با دمای کنترلشده کار کنند؛ همچنین، این لامپها دارای قابلیت کنترل دقیق طیف انرژی هستند. به این ترتیب، یکنواختی دما در سطح ویفرها در محدوده ±۰.۱ درجه سانتیگراد حفظ میشود. استفاده از قطعات کوارتز و سیستمهایی که گازهای زائد را کنترل میکنند، مانع از ایجاد ذرات زائد میشود؛ در نتیجه، محیط کارخانه در سطح کلاس ۱ تا ۱۰۰ حفظ میشود. این سیستم، دمای مورد نظر را تحت فشار نیتروژن یا هوای خشک حفظ میکند؛ بنابراین رطوبت و اکسیژن از وارد شدن به محیط جلوگیری میشود. سیستم بازخوردی نیز باعث میشود که پروفیل دمایی در هر بار کار یکسان باقی بماند؛ همچنین، امکان ثبت اطلاعات مربوط به هر بار کار نیز وجود دارد.
چرا این لامپها در فرآیندهای مختلف مؤثر هستند؟
این لامپها در هر جایی که دقت دمایی مهم باشد، میتوانند مورد استفاده قرار گیرند؛ مثلاً برای خشک کردن ویفرها پس از تمیزکاری، یا برای خشک کردن مواد مورد استفاده در فرآیند لیتوگرافی. استفاده از این لامپها باعث کاهش زمان لازم برای خشک شدن مواد، کاهش مصرف انرژی و کاهش تعداد ویفرهای باکیفیت پایین میشود. همچنین، کنترل دقیق دما باعث کاهش اکسیداسیون و آلودگی سطحی مواد میشود؛ در نتیجه، چسبندگی و کیفیت محصول بهبود مییابد.
جزئیات عملی که باید در نظر بگیرید:
برای نصب این لامپها، باید اتصالات مربوط به تخلیه گازها را در نظر بگیرید؛ همچنین، باید لامپ را از نوسانات لرزشی جدا کنید. پس از تعویض لامپ، نیاز به زمانی برای تثبیت دما وجود دارد. همچنین، باید نگهداری لامپها را در زمان مناسب انجام دهید تا از توقف ناخواسته فرآیند جلوگیری شود. همچنین، باید مطمئن شوید که منبع گاز مورد استفاده، معیارهای مربوط به دمای رطوبت را برآورده میکند.