در فرآیندهای تولید، اختلالات حرارتی در هنگام پختن فوتورزیست یا خشک کردن ویفر، نه تنها باعث کاهش سرعت تولید میشود، بلکه ابعاد مهم محصول را نیز تغییر داده و باعث کاهش بازدهی تولید میگردد. لازم است که گرمای لازم به سرعت اعمال شود، در سطح یکنواختی باقی بماند و در طول کل فرآیند، پاکیزه بماند.
فرستندههای مادون قرمز مورد استفاده در سیستم PECVD، از انرژی موجکوتاه برای ایجاد پاسخ حرارتی سریع استفاده میکنند؛ در نتیجه، یکنواختی دمای سطح ویفر در حد ±۰.۱ درجه سانتیگراد حفظ میشود. غلافهای کوارتزی و فیلامنتهای مهندسیشده، جلوی تولید ذرات را میگیرند؛ بنابراین محیط تولید در سطح کلاس ۱ تا ۱۰۰ باقی میماند. خروجی این سیستم در طول بیش از ۵٬۰۰۰ ساعت کار، پایدار باقی میماند؛ درصد تغییر شدت گرما نیز کمتر از ۵٪ است؛ بنابراین بودجه حرارتی مورد نیاز برای فرآیند تولید، قابل پیشبینی است. این سیستم میتواند مستقیماً در ماشینآلات PECVD و سایر ماشینآلات حرارتی مورد استفاده قرار گیرد؛ همچنین، این سیستم دارای گزینههای ولتاژ استاندارد و ابعاد کوچکی است که مانع از مشکلات در چیدمان ماشینآلات میشود.
در فرآیندهای خشک کردن و تمیز کردن ویفر، این فرستندهها باعث از بین رفتن رطوبت سطحی ویفر میشوند؛ در نتیجه، زمان فرآیند کاهش مییابد. در فرآیندهای لیتوگرافی، این فرستندهها با کنترل دقیق دما، باعث پایداری پروفایلهای فوتورزیست و یکنواختی سطح ویفر میشوند. در فرآیندهای بستهبندی نیز، این فرستندهها باعث خشک شدن سریع و یکنواخت مواد مورد استفاده میشوند؛ در نتیجه، زمان نگهداری ویفر در فر نیز کاهش مییابد، بدون اینکه از چسبندگی مواد مختل شود.
همراه با الکترونیکهای کارآمد از نظر مصرف انرژی، مصرف انرژی این سیستم نسبت به هیترهای مقاومتی کمتر است؛ همچنین، به دلیل عدم وجود فیلامنتهای داغ در معرض گازهای فرآیندی، زمان نگهداری و تعمیر سیستم نیز طولانیتر میشود.
نکات مهم در نصب این سیستم: برای دستیابی به بهترین عملکرد، باید هندسه منعکسکنندهها و سیستم کنترل حرارتی ماشینآلات مناسب باشد؛ ما نقشههای کالیبراسیون مربوط به پیکربندیهای رایج اتاقهای تولید را نیز فراهم میکنیم. هنگام تغییر از پروفایلهای موج متوسط به موج کوتاه، لازم است زمان بیشتری برای رسیدن به دمای مورد نظر صرف شود؛ همچنین، باید مطمئن شد که محل قرارگیری سنسورها با پروفایل حرارتی تعیینشده توسط ما هماهنگ باشد. همچنین، باید از تجهیزات نصب مناسب برای اتاقهای تمیز استفاده کرد، و سازگاری لولههای گازی را نیز بررسی کرد تا از تشکیل رطوبت در محل تماس گازها جلوگیری شود.