Sur le plan de fabrication, les déviations thermiques pendant le séchage des wafers ou lors du traitement par photorésiste ne représentent pas seulement un obstacle au rythme de production. Elles entraînent également des changements dans les dimensions critiques des composants, ce qui affecte négativement le taux de production. Il est donc nécessaire d’utiliser une chaleur qui agisse rapidement, de manière constante, et sans interférences, shift après shift.
Nos émetteurs à infrarouges pour PECVD utilisent de l’énergie à ondes courtes pour assurer une réponse thermique rapide, avec une uniformité à niveau de wafer de ±0,1°C tout au long du processus. Les enveloppes en quartz et les filaments spécialement conçus permettent d’éviter toute génération de particules, ce qui garantit que vous restiez dans une salle propre de classe 1–100. La puissance délivrée reste stable pendant plus de 5 000 heures, avec moins de 5 % de dérive d’intensité, ce qui permet de maintenir une stabilité constante du processus thermique. Le système s’intègre facilement aux modules PECVD et de traitement thermique existants, avec des options de tension standard et un format compact qui ne perturbe pas l’aménagement de l’équipement.
Lors du séchage et du nettoyage des wafers, ces émetteurs permettent une désorption rapide, sans délai thermique, ce qui réduit le temps de cycle tout en évitant que l’humidité ne se dépose sur la surface du wafer. En lithographie, ils assurent un contrôle précis de la température, ce qui stabilise les profils du photorésiste et l’uniformité des dimensions des composants. Enfin, pour l’emballage, ils permettent un durcissement rapide et uniforme des matériaux d’encapsulation, ce qui raccourcit le temps d’exposition au four sans nuire à l’adhésion des matériaux.
Avec des composants électroniques efficaces en termes d’énergie, la consommation électrique est réduite par rapport aux chauffages résistifs. De plus, les intervalles de maintenance sont allongés, car il n’y a pas de filaments chauds exposés aux gaz de traitement.
Ce qui est important lors de l’installation, c’est de bien coordonner la géométrie du réflecteur avec le circuit de contrôle thermique de l’équipement. Nous fournissons des fichiers de calibrage pour les configurations de chambre les plus courantes. Lorsque vous passez d’un profil à ondes moyennes à un profil à ondes courtes, attendez-vous à un temps d’amorçage légèrement plus long pour atteindre la température souhaitée. Assurez-vous également que la position des capteurs correspond au profil thermique que nous fournissons. Prévoyez également un matériel de montage compatible avec les salles propres, et vérifiez la compatibilité des lignes de gaz afin d’éviter toute condensation à l’interface avec les fenêtres.