클래스 100 청정실을 항상 깨끗하게 유지하는 방법 클래스 100 청정실을 운영하고 있다면, 미세한 먼지가 발생하는 문제가 얼마나 심각한지 잘 알고 있을 것입니다. 가열 요소에서 나오는 작은 먼지 한 조각만으로도 전체 제품이 망가질 수 있습니다. 일반적인 코일이나 개...

생산 현장에서는 포토레지스트의 성능이 열 분포에 의해 결정됩니다. 특히 소프트 베이크와 하드 베이크 과정에서 그렇습니다. 웨이퍼 전체에 걸쳐 약간의 온도 차이가 생기거나 불균일한 가열이 발생하면, 웨이퍼의 가장자리에 문제가 생기고, 선의 굵기도 변하며, 최종 제품의...