클린룸 오븐 적외선 히터

왜 클린룸에서 강제 대류식 오븐을 사용하지 않는가? 많은 반도체 제조 공정에서 여전히 강제 대류식 오븐이 사용되고 있습니다. 이런 오븐들은 공기를 가열한 다음, 그 열이 기판에 전달됩니다. 이는 매우 느리고 간접적인 방식이며, 종종 전체 공정의 병목 현상이 됩니다....