Mengawal Suhu dengan Betul untuk Penderia Hidrogen
Membuat penderia hidrogen memerlukan keseimbangan yang tepat. Anda perlu bekerja dengan komponen-komponen kecil yang sangat sensitif terhadap suhu. Jika anda gagal mengawal suhu tersebut, keseluruhan produk yang dihasilkan akan menjadi tidak berguna.
Itulah sebabnya kami menggunakan sistem inframerah gelombang pendek. Apabila anda perlu memanaskan atau menyejukkan lapisan tipis atau substrat dengan cepat, IR merupakan cara yang paling efektif. Dalam sistem Smart Fab, pemanas ini memainkan peranan penting. Yang terbaik ialah haba dapat disalurkan terus ke permukaan bahan yang ingin diproses. Anda tidak perlu membazir tenaga untuk memanaskan seluruh ruang hanya untuk mencapai suhu yang sesuai bagi satu wafer sahaja.
Pemanas Pintar, Data Lebih Baik
Kami tidak percaya pada pemanas yang hanya berfungsi sama ada “on” atau “off”. Itu cara lama. Kami membina sistem ini agar dapat berfungsi bersama dengan sistem digital anda. Dengan menggunakan pengawal PID dan maklum balas masa nyata, anda dapat melihat apa yang sedang berlaku – setiap perubahan suhu – pada setiap wafer. Ini sangat membantu kerana anda boleh mengesan sebarang masalah sebelum ia merosakkan keseluruhan produk yang dihasilkan.
Mengapa Kami Memilih IR
Sejujurnya, kaedah pemanasan konduktif memerlukan masa yang lama. Kaedah konveksi pula kurang efektif. IR pula berbeza. Ia merupakan kaedah pemanasan yang langsung. Kami menggunakan pemancar berintensiti tinggi yang bertujuan untuk memanaskan kawasan tertentu pada bahan penderia tersebut. Ini membolehkan kawasan pemanasan kekal kecil, dan mengurangkan masa yang diperlukan untuk memanaskan bahan tersebut.
Ia sangat cepat. Dan itu bermakna anda dapat menghasilkan lebih banyak produk dalam setiap syif kerja.
Kekurangan Penggunaan IR
Masalahnya ialah apabila kuasa yang besar digunakan di kawasan kecil, suhu akan meningkat dengan cepat. Walaupun kelajuan ini bagus untuk proses pembuatan, ia juga memberi tekanan yang besar pada sistem penyejukan. Jika sistem penyejukan tidak mencukupi, ia akan menyebabkan masalah pada komponen elektronik yang sensitif. Ini merupakan masalah yang tidak diinginkan.
Untuk mengelakkannya, kami mencadangkan penggunaan sistem air sejuk khusus. Ini akan memastikan bahagian lain dari fasiliti tersebut tetap stabil sementara IR berfungsi dengan baik.
Cukup sambungkan keseluruhan sistem tersebut ke SCADA anda. Dengan adanya pandangan yang jelas, ia akan memudahkan anda untuk memastikan toleransi yang tepat pada ribuan penderia tersebut.