เลิกใช้เครื่องทำความร้อนเพื่ออุ่นผนังเครื่องจักรได้แล้ว (และหันมาใช้วิธีอบแห้งแทน) หากคุณเคยทำงานกับเครื่องอบแห้งสำหรับชิปเซมิคอนดักเตอร์มาก่อน...

การทำความสะอาดชิป MEMS ด้วยแสงอินฟราเรด หากคุณเคยทำงานกับเซ็นเซอร์ประเภท MEMS มาก่อน คุณคงรู้ดีว่าการทำให้แผ่นวัสดุแห้งนั้นเป็นเรื่องยากมาก...

ในโรงงานผลิตชิปนั้น พฤติกรรมของสารฟอโตรีสิสต์ขึ้นอยู่กับสภาพอุณหภูมิเป็นหลัก โดยเฉพาะในช่วงการอบชิป หากมีความแตกต่างของอุณหภูมิเพียงเล็กน้อย...

Out on the lithography floor, the wafer comes off the final rinse and the clock starts. Conventional drying leaves behind water marks, thin films,...