MEMS传感器晶圆干燥加热器

利用红外线技术清洁MEMS传感器 如果你曾经从事过MEMS传感器的生产工作，那你就知道晶圆干燥这一环节有多麻烦。哪怕只有一个小水滴或少量离子污染，整批产品都报废了。多年来，我们一直依赖对流式烤箱来干燥晶圆，但说实话，为了干燥一个晶圆而加热整个炉腔，实在是极大的能源浪费。 因此，我们转而使用短波红外...