洁净室烤箱红外加热器
为何我们不再使用强制对流式烤箱
许多半导体生产线上仍然在使用强制对流式烤箱。这种烤箱的工作原理是先加热空气,再让空气来加热被加工的基板。这是一个缓慢且间接的加热过程,往往成为整个生产流程中的最大瓶颈。
正因如此,越来越多的人开始转向红外线加热方式。这种方式无需经过空气这一中间介质,可以直接将能量传...
洁净室红外加热器
加热易挥发化学物质时的安全措施 说实话,将红外线加热器放入充满易燃溶剂的洁净室里,实在是一件令人担忧的事情。哪怕有一点点火花,或者表面温度稍微过高,都可能让整个工作过程变成一场灾难。这确实是一个高风险的环境。
因此,我们不会使用普通的加热器,而是会专门设计这种加热器。
关键在于密封性 大多数人以为...
半导体洁净室推车式加热器
避免半导体处理车中的“烤箱效应” 有没有过这样的经历:试图加热半导体处理车内的部件,结果却因为外壳过热而烫伤手?这真是个典型的工程难题。
大多数人会选择使用对流式加热器,但这是不对的。这样做的结果是,只有空气和机器的壁面被加热,而内部的部件却无法得到有效的加热。这不仅浪费能源,而且那些过热的壁面还...
洁净室设备升级改造中
阻止“玻璃雨”:保护晶圆免受灯泡故障的威胁 在高负荷的生产环境中,哪怕只有一个灯泡损坏,都可能让整个生产流程中断,甚至导致一批晶圆报废。
当石英管损坏时,它不会只是变黑而已,而是会爆炸,将大量玻璃碎片和粉尘撒满生产线。这无疑是一场灾难。正因如此,我们在设计红外线灯泡时特意加入了“安全防护机制”。...
洁净室工作台红外灯
如何防止洁净室中的红外加热器出现故障 在洁净室中工作时,所谓的“几乎完美”是远远不够的。任何污染都不可接受,而设备故障则简直是噩梦。我们设计的红外灯确实能够承受高温,不过说实话,真正让我担心的并不是高温本身,而是电气泄漏问题。
我们会对每一盏灯进行测试,绝不例外。 有些工厂只是随机抽取几盏灯进行检...