Stoppen Sie das Ausschütteln von Partikeln: So stellen Sie eine perfekte Heizung in einer Klasse 100 sicher
Wenn Sie eine Reinraumumgebung der Klasse 100 betreiben, kennen Sie sicherlich das Problem, das durch einzelne Partikel entsteht. Schon ein winziger Staubkorn kann dazu führen, dass die ganze Charge unbrauchbar wird.
Das Problem liegt meist bei den Heizelementen. Die meisten herkömmlichen IR-Lampen werden mit billigen Metallen oder Klebstoffen bei den Dichtungen hergestellt. Sobald diese Lampen zu heizen und abzukühlen beginnen – also durch dieses ständige thermische Wechselspiel – beginnen diese Materialien zu versagen. Sie zerfallen und setzen Schadstoffe frei, die in Ihren Prozess gelangen. Es handelt sich dabei um eine Katastrophe, die nur darauf wartet, einzutreten.
Wir haben beschlossen, dieses Problem zu lösen, indem wir solche minderwertigen Komponenten weglassen. Wir verwenden hochreine synthetische Quarztuben in Kombination mit speziellen keramischen Endkappen.
Warum das funktioniert
Wir nutzen hochreinen Quarz, weil er auch bei sehr hohen Temperaturen klar bleibt und nicht kristallisiert. Doch das eigentliche Geheimnis liegt in den Dichtungen. Vermeiden Sie Epoxid- oder organische Dichtstoffe – sie geben Gase ab. Stattdessen nutzen wir eine Verbindung zwischen Keramik und Metall. Diese keramischen Endkappen fungieren wie ein stabiler, inerter Schutz. Sie zerbröseln nicht und lassen keine Chemikalien entweichen. Dadurch bleibt die Heizzone neutral – es entstehen keine Stellen auf den Wafern odersubstraten, die Probleme verursachen könnten.
Die Abwägungen (Denn nichts ist perfekt)
Um die Größe der Anlage zu reduzieren, nutzen wir eine hohe Intensität der Kurzwellenstrahlung. Dadurch wird die Oberfläche, über die Partikel austreten können, minimiert. Das ist einfach intelligenter.
Aber hier müssen Sie vorsichtig sein: Bei der Montage. Da keramische Endkappen die Hitze anders vertragen als Kunststoffe oder Klebstoffe, dehnt sich die Quarztube auf unterschiedliche Weise aus. Wenn man die Lampen in starre Halterungen setzt, kann die Quarztube beim schnellen Erhitzen zerbrechen. Tun Sie das nicht. Verwenden Sie stattdessen flexible Halterungen. Geben Sie der Lampe genug Raum, um sich linear ausdehnen zu können – dann funktioniert alles einwandfrei.
Einsetzen in Ihre Produktionsanlage
Diese Lampen sind im Grunde Ersatzteile für die IR-Strahler, die Sie bereits in Ihren Halbleiter- oder Medizinproduktanlagen verwenden. Da die keramischen Endkappen den größten Teil der Hitze abbekommen, halten die Lampen in der Regel länger. Nur eines: Achten Sie auf Ihre Stromversorgung. Wenn die Spannung zu hoch wird, kann der Filament zerstört werden. Es spielt keine Rolle, wie rein der Quarz ist, wenn die Stromqualität schlecht ist. Halten Sie den Strom stabil – dann bleibt Ihr Produkt sauber. So einfach ist das.