Warum goldbeschichtete IR-Lampen wirklich wichtig sind
In einer Halbleiterfabrik reicht es nicht aus, einfach die Leistung der Lampen zu erhöhen. Entscheidend ist vielmehr, wohin die abgegebene Wärme tatsächlich gelangt.
Stellen Sie sich eine herkömmliche IR-Lampe vor: Sie gibt Energie in alle Richtungen ab – 360 Grad. Ohne einen effektiven Reflektor geht dabei die Hälfte der Energie dazu drauf, den Chassis der Maschine zu erwärmen. Das ist eine Verschwendung. Deshalb verwenden wir goldbeschichtete Reflektoren. Dadurch wird die verschwendete Energie wieder auf das Wafer gelenkt.
Das Geheimnis des Goldes
Gold ist einfach besser darin, Infrarotstrahlung zurückzuwerfen als Aluminium oder poliertes Stahl. Durch das Aufbringen einer dünnen Goldschicht auf den Reflektor sorgen wir dafür, dass die kurzwelligen Infrarotstrahlen das Wafer erreichen – anstatt vom Gerät selbst absorbiert zu werden.
So erhalten Sie genau dort Wärme, wo sie benötigt wird – pro Quadratmillimeter – ohne dass die Stromversorgung zusätzlich belastet wird. Das ist einfach effizient.
Umgehen mit der Wärme
Wenn man mit Hochleistungs-Lampen arbeitet, muss man mit erheblicher Energiemenge umgehen. Goldreflektoren konzentrieren diese Wärme auf einen kleinen Bereich. Dadurch laufen die Aushärtungsvorgänge viel schneller – was großartig ist. Doch das bedeutet auch, dass das Kühlsystem härter arbeiten muss. Wenn die Luftzufuhr nicht richtig eingestellt ist, kann es zu Problemen wie verzerrten Gehäusen oder störanfälligen Abschaltungen kommen.
Einfache Installation
Wir haben diese Lampen so konstruiert, dass sie als Ersatz für vorhandene Lampen verwendet werden können. Es ist nicht notwendig, die gesamte Anlage neu aufzubauen.
Das Beste daran: Da die goldbeschichteten Reflektoren so effizient sind, kann man die Filamente oft bei niedrigerer Temperatur betreiben – und dennoch die gewünschte Temperatur auf dem Wafer erreichen. Dadurch halten die Lampen länger und die Filamente müssen nicht alle paar Wochen ausgetauscht werden.
Ein paar Tipps zur Installation: Überprüfen Sie unbedingt, ob Ihre Elektroleitungen die Leistung der Lampen bewältigen können. Da die Energie so stark konzentriert wird, bleibt weniger Spielraum für Fehler. Nehmen Sie sich Zeit bei der Einstellung der PID-Steuerung, damit die Temperatur während des Hochfahrens nicht überschritten wird.