Hören Sie auf, zuzulassen, dass Lampenversagen Ihre Produktion beeinträchtigt!
In einer Fabrik mit hohem Produktionsvolumen ist ein Ausfall einer Lampe ein Albtraum. Es geht nicht nur um die Stillstandszeiten – wenn die Quarzkapsel platzt, fallen Glassplitter und chemische Stoffe direkt auf die Wafer. Das bedeutet sofortigen Ausschuss der Wafer sowie einen langwierigen und zeitaufwendigen Reinigungsprozess.
Wir haben eine bessere Lösung gefunden: Man setzt einfach einen Quarzschild zwischen den Heizelement und die Werkstücke. Einfach – aber effektiv.
Warum Quarz?
Wir verwenden hochreinen gefügten Quarz, denn dieser kann viel aushalten. Er reagiert nicht negativ auf plötzliche Temperaturanstiege – man muss sich also keine Sorgen machen, dass der Schild bei steigender Temperatur zerbricht. Man kann es sich wie eine Art Versicherung vorstellen: Wenn die Lampe aufgrund eines Spannungsanstiegs oder thermischer Belastungen explodiert, fängt der Schild die Splitter ab. Dadurch bleiben die Wafer sauber.
Der Kompromiss
Ehrlich gesagt bedeutet die Verwendung eines Glasgeschirrs einen geringfügigen Rückgang bei der Infrarotübertragung. Man erhält nicht 100 % der Wärme im Vergleich zu einer herkömmlichen Lampe. Doch das ist ein kleiner Preis, den man zahlen muss. Man könnte die Leistung der Lampe erhöhen oder sie etwas näher an die Wafer bringen, um die gewünschte Temperatur zu erreichen. Achten Sie darauf, nach dem Einbau der Schilde die Einstellungen des PID-Systems nochmals zu überprüfen, damit die Temperatur nicht zu hoch wird.
Unterhaltung
Es handelt sich dabei um Ersatzteile, die problemlos in die Standardgehäuse passen. Man muss also nichts am Chassis verändern, damit sie funktionieren. Mit der Zeit wird das Glas „trüb“ – das liegt einfach an Ablagerungen. Dann wird die Wärmeverteilung ungleichmäßiger, da das Infrarot nicht mehr so leicht durchdringen kann. Die Lösung? Ein kurzes Abwischen mit elektronikgerechtem IPA – schon ist alles wieder in Ordnung.
Ein letzter Tipp: Halten Sie die Spannung konstant. Solche Schwankungen belasten den Glühfaden, was wiederum zu Brüchen führt. Der Schild soll Sie schützen – doch eine stabile Spannung verhindert, dass der Schild überhaupt eingesetzt werden muss.