چرا سیستم خشککردن با استفاده از نور مادون قرمز به یک بازتابنده با کیفیت نیاز دارد؟
روی آوردن به روشهای سبز در تولید نیمههادیها، معمولاً به معنای کنار گذاشتن فرهای قدیمی و ناکارآمد است. امروزه از روش خشککردن با نور مادون قرمز استفاده میشود؛ زیرا این نور مستقیماً به سطح ویفر برخورد میکند. اما مشکل اینجاست که لامپ به تنهایی، منبعی بیفایده است. بدون وجود یک بازتابنده مناسب، نیمی از انرژی لامپ صرف بدنه دستگاه میشود؛ که البته این روش کاربردی نیست.
رساندن گرما به جای مناسب
فکر کنید لامپ مادون قرمز چگونه کار میکند؛ این لامپ گرما را در تمام جهات – یعنی ۳۶۰ درجه – پخش میکند. اما ما فقط به گرمایی علاقه داریم که به سطح ویفر برخورد کند.
در همین جاست که بازتابندههای پوشیده شده با طلا یا آلومینیوم با خلوص بالا مورد استفاده قرار میگیرند؛ آنها تمام انرژی اضافی را از سمت پشت لامپ جذب کرده و آن را دوباره به سمت ویفر میفرستند. این روش ساده است، اما امکان افزایش شدت گرما را بدون نیاز به استفاده از توان بیشتر فراهم میکند. در نتیجه، زمان لازم برای گرم شدن دستگاه کاهش مییابد و هزینه انرژی نیز کمتر میشود.
خطرات استفاده از بازتابندههای نامناسب
هنگام طراحی این بازتابندهها، باید منحنی بازتابنده را کاملاً با فاصله کانونی لامپ هماهنگ کرد. اگر این هماهنگی حتی چند میلیمتری نباشد، نقاط داغی ایجاد میشود؛ و این نقاط داغ مشکلات زیادی ایجاد میکنند. آنها باعث خشککردن ناهموار ویفر میشوند؛ یا در بدترین حالت، باعث تغییر شکل ویفر میشوند که در نتیجه باید آنها را دور بیندازیم. به همین دلیل از موادی استفاده میکنیم که بتوانند در برابر گرما و سرما مقاومت کنند، بدون اینکه رنگ خود را از دست بدهند.
تعادل بین کارایی و خطرات
بازتابندههای با کیفیت بالا، انرژی را صرفهجویی میکنند؛ اما در عین حال، گرما را نیز تمرکز میکنند. اگر از لامپهایی با توان بالا استفاده کنید، خود بازتابنده نیز میتواند داغ شود. بنابراین باید از فنهای خنککننده یا سیستمهای خنککننده مناسب استفاده کنید؛ در غیر این صورت، انتهای لامپها خراب خواهد شد.
اما وقتی که این کار به درستی انجام شود، تفاوت بسیار زیادی خواهد بود؛ زمان لازم برای گرم شدن دستگاه از ساعتها به چند ثانیه کاهش مییابد. فضای مورد نیاز برای نصب دستگاه نیز کمتر میشود؛ همچنین، انرژی صرف گرم کردن هوایی که حتی به محصول شما برخورد نمیکند، کاهش مییابد. این روش، روشی هوشمندانه برای کار کردن است.