गोल्ड-कोटेड ट्विन-ट्यूब लैंपों का उपयोग करके थर्मल लोड को सही तरीके से नियंत्रित करना
सेमीकंडक्टर निर्माण में, यदि थर्मल प्रोफ़ाइल में थोड़ी भी त्रुटि हो जाए, तो इसका परिणाम खराब वेफर ही होगा। यह बहुत ही महत्वपूर्ण मामला है। हमने पाया कि गोल्ड-कोटेड ट्विन-ट्यूब IR लैंपों का उपयोग करना, बिना अतिरिक्त ऊर्जा की बर्बादी के, लक्ष्यों को हासिल करने का सबसे अच्छा तरीका है।
गोल्ड एवं ट्विन-ट्यूब डिज़ाइन क्यों?
सामान्य क्वार्ट्ज ट्यूबों में ऊर्जा बाहर निकल जाती है; यह ऊर्जा की बर्बादी है। क्वार्ट्ज ट्यूबों की आंतरिक सतह पर गोल्ड कोटिंग लगाने से, लैंप एक दर्पण की तरह काम करता है। इससे ऊर्जा सीधे वेफर तक पहुँचती है। ऐसे में आपको वास्तव में आवश्यक स्थान पर ही ऊष्मा प्राप्त होती है, और क्लीनरूम में अतिरिक्त गर्मी नहीं बनती।
ट्विन-ट्यूब डिज़ाइन भी बहुत ही उपयोगी है। इससे रेडिएटिंग सतह क्षेत्रफल दोगुना हो जाता है, लेकिन अतिरिक्त जगह की आवश्यकता नहीं पड़ती। इससे अधिक वॉटेज भी प्रणाली में भेजा जा सकता है, बिना पूरी हीटिंग सिस्टम को फिर से बनाने की आवश्यकता के।
तो, क्या वास्तव में कोई समझौता है?
अब, आप बस ऊर्जा की मात्रा बढ़ाकर चले नहीं सकते। जब इन लैंपों का उपयोग अधिक मात्रा में किया जाता है, तो तापमान बहुत बढ़ जाता है। गोल्ड कोटिंग से सिस्टम तो अधिक कुशल हो जाता है, लेकिन इससे ट्यूबों का तापमान भी बढ़ जाता है। यदि कूलिंग फैन/हीट सिंक पर्याप्त न हों, तो फिलामेंट नष्ट हो जाएँगे। यह एक संतुलन का मामला है… आपको यह तय करना होगा कि प्रति इंच कितनी ऊर्जा आवश्यक है, एवं आपकी सिस्टम कितनी अच्छी तरह से अतिरिक्त ऊर्जा को निकाल सकती है।
कार्बन फुटप्रिंट को कम करना
अधिकांश फैक्ट्रियाँ “हरित” बनने की कोशिश कर रही हैं… लेकिन “हरित” का मतलब आमतौर पर “अधिक पैसा खर्च करना” ही होता है। लेकिन ऐसा इस बार नहीं है।
पुराने ओवनों में ऊर्जा की बर्बादी होती है, क्योंकि वे चैंबर में मौजूद हर इंच हवा को गर्म करने की कोशिश करते हैं। हमारी IR प्रणालियाँ सीधे ही सब्सट्रेट को गर्म करती हैं।
चूँकि गोल्ड-कोटेड ट्विन-ट्यूब लैंप बहुत तेज़ी से गर्म हो जाते हैं, इसलिए प्रक्रिया में लगने वाला समय कम हो जाता है। इससे प्रति वेफर पर खर्च होने वाली ऊर्जा भी कम हो जाती है। इसके अलावा, जब इन लैंपों को ज़ोन्डेड कंट्रोल सिस्टम से जोड़ा जाता है, तो पुराने रेजिस्टिव हीटरों के कारण होने वाली अतिरिक्त ऊर्जा समस्याएँ भी दूर हो जाती हैं।
यह एक सरल तरीका है… जिससे क्लीनरूमों में अतिरिक्त ऊर्जा की बर्बादी नहीं होती।