「ガラスの雨」を防ぎ、ウェーハをランプの故障から守る
高負荷の製造環境では、たった1つのランプが壊れるだけで、その日の作業全体が台無しになり、大量のウェーハも失われてしまいます。
石英管が壊れると、単に暗くなるだけではありません。実際には爆発してしまい、微細なガラス片やほこりが生産ラインに飛び散ります。これは大惨事です。だからこそ、私たちは赤外線ランプを「故障防止機能」を持つように設計したのです。
なぜ石英管が壊れるのか
通常、熱衝撃や電極の摩耗が原因です。私たちは高純度の融解石英を使用しているのは、急速な高ワット数の動作に耐えられるからです。
しかし、それだけではありません。私たちは、破損を防ぐためのスリーブや特殊なコーティングも施しています。これはまさに安全網の役割を果たします。フィラメントが焼き切れて管が割れても、このコーティングによって破片が固定されるので、高価なウェーハがガラス片で傷つくことはありません。
過酷な環境に耐えられるように設計されている
これらのランプは、過酷な条件でも正常に動作するように設計されています。石英管と導線の接続部分にも多くの注意を払っています。
もしこの接続部分が弱ければ、ガスが漏れ込みます。そうなると、フィラメントが酸化してしまい、ランプが壊れてしまいます。私たちは強化されたシール処理を施しているので、どんなに過酷な条件下でも真空状態を維持できます。
正直なトレードオフ
完璧なものはありません。このような保護層を追加すると、赤外線の透過率が少し低下します。完全に何もない場合と比べて、約3～5％の熱量の減少が見られます。そのため、温度目標を達成するためには、昇温時間を調整したり、電圧を少し上げる必要があるかもしれません。
しかし正直に言って、これは受け入れる価値のあるトレードオフです。数個のランプを交換するだけで問題は解決しますが、破損後にクリーンルームを清掃するのは大変な作業です。