전력 낭비를 멈추세요: IR 열을 효과적으로 처리하는 방법
솔직히 말해서, 반도체 제조 공정에서 전력을 낭비하는 것은 그냥 돈을 버리는 것과 같습니다. 대부분의 사람들은 일반적인 알루미늄 반사판을 사용하지만, 문제는 이러한 반사판들이 IR 램프의 모든 스펙트럼의 빛을 효과적으로 반사하지 못한다는 점입니다. 그로 인해 많은 에너지가 그대로 기계의 섀시로 들어가 버립니다. 이는 분명한 낭비입니다.
그래서 우리는 금으로 코팅된 반사판을 사용하기로 했습니다. 이렇게 하면 잃어버린 에너지를 다시 웨이퍼 쪽으로 반사시켜 줍니다.
왜 금인가요?
모두가 알루미늄을 사용하지만, 적외선을 다룰 때는 금이 훨씬 더 효과적입니다. 정확하게 금 층을 추가함으로써 반사판이 열을 흡수하는 것을 막을 수 있습니다. 이렇게 하면 전원에서 나오는 모든 와트의 에너지가 정확히 목표물에 닿게 됩니다. 램프의 전류를 높일 필요 없이도 훨씬 더 높은 열 밀도를 얻을 수 있습니다. 정말 효율적입니다.
중요한 것은 곡률입니다
평평한 금속판으로는 안 됩니다. IR 광선이 정확히 집중되도록 반사판의 곡률을 신중하게 조절해야 합니다. 만약 곡률이 조금이라도 잘못되면, 실리콘 위에 차가운 부분이 생기거나 이상한 온도 분포가 생깁니다. 하지만 곡률이 적절하게 조절된다면, 목표 온도에 빠르게 도달할 수 있으며, 그 결과 처리 시간도 줄어듭니다.
단점도 있습니다
완벽한 것은 없습니다. 금은 효율성 면에서는 훌륭하지만, 너무 부드러워서 아노다이징된 알루미늄보다 훨씬 부드럽습니다.
제발, 장비를 보호하기 위해 마모성 있는 천으로 반사판을 닦지 마세요. 그러면 코팅이 벗겨져 반사율이 현저히 떨어집니다. 비접촉식 청소 방법을 사용해야 합니다.
또한, 웨이퍼에 더 많은 열이 집중되므로 냉각 시스템도 반드시 확인해야 합니다. 예상치 못한 과도한 에너지가 입력되어 온도가 너무 높아지는 것을 막아야 합니다.
사용 방법
가장 좋은 점은 이 반사판들이 그대로 교체 가능하다는 것입니다. 전체 시스템을 다시 연결하거나 주말 내내 해체할 필요가 없습니다. 그냥 반사판만 교체하고, 추가된 열을 감당할 수 있도록 온도 측정 장비를 조정하면 됩니다.