왜 매초가 중요한 상황에서는 적외선 가열이 강제 공기 순환 방식보다 우수한지 만약 여전히 웨이퍼를 가열하기 위해 뜨거운 공기를 사용하고 있다면, 그건 사실상 기다리는 것에 불과합니다. 강제 공기 순환 방식을 생각해보세요. 먼저 공기를 가열한 다음, 그 공기가 웨이퍼를...

입자 발생을 막아라: 클래스 100 클린룸의 올바른 난방 방식 클래스 100 클린룸을 운영하고 있다면, 단 하나의 미세한 입자라도 문제가 될 수 있음을 잘 알고 있을 것입니다. 작은 이물질 하나만 있어도 전체 제품이 망가질 수 있습니다. 문제는 보통 난방 소자에 있습...

전력 낭비를 멈추세요: IR 열을 효과적으로 처리하는 방법 솔직히 말해서, 반도체 제조 공정에서 전력을 낭비하는 것은 그냥 돈을 버리는 것과 같습니다. 대부분의 사람들은 일반적인 알루미늄 반사판을 사용하지만, 문제는 이러한 반사판들이 IR 램프의 모든 스펙트럼의 빛을...

팹에서는 포토레지스트를 가열하는 과정이 단순한 권장 사항이 아니라 반드시 이행해야 하는 과제입니다. 0.5°C의 온도 변화만으로도 치명적인 결과가 발생할 수 있으며, 심지어 작은 먼지 한 알만으로도 칩이 손상될 수 있습니다. 저희가 사용하는 쿼츠 소재의 슬리브는 바로...