Het behouden van de veiligheid wanneer IR-licht wordt gebruikt in de buurt van vlambare chemicaliën
Wanneer je wafergereedschappen wast met chemicaliën, heb je te maken met oplosmiddelen die zeer gevoelig zijn voor hitte. Ze zijn ontvlambaar en soms zelfs explosief. Het gebruik van een hoogtemperatuur IR-lamp in deze omgeving is dus een risicovolle actie.
De oplossing ligt niet in het proberen de lamp ‘veiliger’ te maken, maar eerder in de manier waarop de lamp wordt beschermd.
Het voorkomen van vonken
De meeste IR-lampen hebben elektrische contactpunten en kwarts-elementen die bloot komen te staan aan de lucht. In een reinigingsomgeving is dit een grote risico’s opleverende situatie. Eén kleine vonk of wat dampen die in het apparaat terechtkomen, kan al tot problemen leiden.
Om dit te voorkomen, sluiten we het hele apparaat af in een brandveilig behuizing. We vullen deze behuizing met een chemisch inert gas, zodat de lamp en zijn onderdelen nooit in contact komen met de gevaarlijke lucht. We gebruiken ook geen goedkope materialen; standaard staal of aluminium zou worden aangetast door deze corrosieve dampen. In plaats daarvan gebruiken we hoogwaardige fluoropolymers of gespecialiseerde legeringen. Dit zorgt ervoor dat de chemicaliën niet binnendringen en dat de elektriciteit op de juiste plek blijft.
Het probleem met de hitte
Het probleem is dat wanneer je de lamp in een zware beschermende behuizing plaatst, de hitte minder goed kan ontsnappen. Je wilt natuurlijk niet dat de wafer niet genoeg energie krijgt, of erger nog, dat de lamp van binnenuit beschadigd raakt.
Om dit op te lossen, gebruiken we ramen gemaakt van materialen met hoge transmissie. Hierdoor kan de hitte bij de wafer komen, terwijl de lamp toch beschermd blijft.
Je moet ook goed letten op de interne temperatuur. Als de afsluiting te strak is, kan er hitte ontstaan aan de uiteinden van de buis, waardoor de gloeidraden beschadigd raken. We compenseren dit door gebruik te maken van ingebouwde koelmiddelen die de overtollige hitte weghalen. Hierdoor blijft het apparaat langer functionaleel.
Wat dit betekent voor jouw installatie
Let op: deze geïncapsuleerde apparaten zijn groter dan gewone lampen. Je zult waarschijnlijk je bevestigingspunten moeten aanpassen om ruimte te maken voor de behuizing. Bovendien beweegt de hitte zich niet zo snel wanneer de behuizing meer massa heeft. Je zult je PID-regelingen dus opnieuw moeten instellen. Het duurt iets langer voordat het apparaat reageert, maar dat is een kleine prijs om je laboratorium te beschermen tegen explosies.