Почему мы используем инфракрасные лампы в процессах промывки полупроводниковых пластин
Переход на «зеленые» технологии на производстве полупроводников заключается не просто в соблюдении определенных стандартов. Речь идет о устранении вредных веществ и снижении энергопотребления. Поэтому мы перешли на использование водонепроницаемых инфракрасных ламп для сушки.
Суть в том, что инфракрасное излучение направляется непосредственно на пластину, без нагрева всего помещения. Это позволяет значительно сократить энергопотребление.
Сокращение энергозатрат
Традиционные методы сушки с использованием горячего воздуха требуют больших затрат энергии. Инфракрасные лампы работают иначе: они излучают коротковолновое или средневолновое излучение, которое проникает сквозь жидкостную пленку на пластине, заставляя молекулы воды колебаться и испаряться почти мгновенно. Этот процесс происходит очень быстро.
Благодаря высокой скорости сушки требуется гораздо меньше энергии на обработку одной пластины. К тому же при использовании инфракрасных ламп не возникает продуктов сгорания или растворителей, что делает рабочую среду более безопасной.
Решение проблемы «влажной зоны»
Станции промывки по своей сути являются влажными помещениями. Если использовать обычную инфракрасную лампу, она может сломаться при контакте с каплями воды. Чтобы избежать этого, мы используем лампы с специальными кварцевыми корпусами и герметичными закрытиями. Это предотвращает попадание влаги к электродам. Лампы можно установить прямо над баком для промывки, без необходимости постоянно беспокоиться о паре или брызгах, которые могут повредить оборудование.
Найдение оптимального баланса
Однако есть и недостаток: лампы с высокой мощностью создают большое тепло. Это хорошо для ускорения процесса сушки, но при этом возрастает нагрузка на систему охлаждения. Если конвейер работает слишком медленно, пластина может перегреться или фотополимер может быть поврежден. Необходимо найти правильный баланс между мощностью лампы и скоростью работы конвейера, чтобы избежать повреждения пластины.
Как только этот баланс будет найден, можно отказаться от громоздких и энергозатратных устройств для сушки. Таким образом, получается более компактное оборудование, которое не наносит вреда окружающей среде.