Akıllı Fabrikalarda Termal Enerjiyi Doğru Kullanmak
Eğer akıllı bir fabrika kurmayı planlıyorsanız, muhtemelen eski ısı yönetim yöntemlerinin artık yeterli olmadığını fark etmişsinizdir. Sadece “ısıyı artırıp” en iyisini ummak mümkün değildir. Size geri bildirim sağlayabilen bir sistem gereklidir.
Çoğumuz, waferleri ısıtmak için yüksek verimli kızılötesi (IR) sistemlerden yararlanıyoruz. Bu mantıklıdır; çünkü bu sistemler temas gerektirmez, çok hassastır ve işlevseldir. Ancak buradaki önemli nokta, IR kaynağı ile wafer arasındaki mesafedir. Eğer bu mesafeyi doğru ayarlamazsanız, waferler zarar görebilir.
İdeal Nokta: Kızılötesi Fiziği ve Güvenlik
Her şey, ısının waferlere nasıl ulaştığına bağlıdır. Lambayı çok yakına getirirseniz, localize olmuş sıcak noktalar oluşur. Bu da termal streslere yol açar ve kimse bunu istemez. Ama lambayı çok uzakta tutarsanız, enerjinin bir kısmı oda duvarlarına kaybolur. Böylece boşa para harcamış olursunuz.
Genellikle “ideal noktayı” bulmak için ısı akısını ve lambanın spektral çıkışını inceleriz. Kısa dalgalı kızılötesi ışınlar bu konuda büyük yardım sağlar; çünkü malzenin derinliklerine kadar ulaşır, böylece daha büyük bir mesafe bırakılabilir ve hızlı ısıtma süreleri korunabilir.
“Akıllı” Hale Getirmek
Donanım harika olsa da, asıl mesele geri bildirim mekanizmasındadır. IR sistemlerini gerçek zamanlı termometrelere ve PLC kontrol cihazlarına bağlarız. Böylece yüzey sıcaklığını izleyip milisaniyeler içinde gücü ayarlayabiliriz. Bu oldukça avantajlıdır. Eğer wafer biraz daha kalın gelirse veya malzeme biraz farklıysa, sistem bunu anında halleder. Artık onu sürekli gözetmenize gerek kalmaz.
Ters Tarafları (Çünkü Her Şeyde Bir Dezavantaj Vardır)
Gerçek şu ki: Yüksek yoğunluklu IR sistemleri çok hızlıdır. Ancak çok fazla atık ısı üretirler. Soğutma sistemlerini görmezden gelemeyiz. Eğer soğutucular yeterince güçlü değilse, elektronik parçalar bozulabilir. Bu durumda, yüksek güç ile stabilite arasında bir denge kurmak gerekir. İdeal hassasiyeti elde etmek için, lambanın gücü ile soğutma sistemlerinin kapladığı alan arasında doğru dengeyi bulmak gerekir.