Hören Sie auf, Ihre Energie zu verschwenden – warum goldbeschichtete Reflektoren wichtig sind
In den Wafer-Fabriken ist es eine schlechte Planung, wenn Energie aus dem System entweicht. Wenn Sie Standard-Kohlenstofffaser-IR-Lampen verwenden, haben Sie sicherlich bemerkt, dass viel der Wärme einfach nach hinten abgeleitet wird – weg vom Silizium, wo sie eigentlich hingehört. Das ist Verschwendung.
Wir haben dieses Problem gelöst, indem wir die Reflektoren mit hochreinem Gold beschichtet haben. Das Ziel ist einfach: Sorgen dafür, dass jede einzelne Wattstunde auf den Wafer trifft.
Warum Gold?
Die meisten Menschen verwenden Aluminiumreflektoren – doch diese neigen dazu, zu viel Energie aufzunehmen oder zu streuen. Gold hingegen ist anders: Es ist äußerst effektiv bei Infrarotlicht – mit einer Reflexionsrate von über 98%. Im Grunde genommen wird so das „Wärmeverlustproblem“ beseitigt. Dadurch wird die Wärmemenge, die auf die Waferoberfläche trifft, viel größer. Der Vorteil: Sie erhalten mehr Leistung für den Chip – ohne dass Sie mehr Energie aus dem Stromnetz beziehen müssen.
Die Nachteile (denn es gibt immer welche)
Kohlenstofffaser-Elemente sind zwar gut, da sie schnell warm werden und leicht zu steuern sind. Doch wenn man so viel Energie in einen kleinen Raum konzentriert, wird es dort sehr heiß. Wenn man maximale Leistung erzielen will, muss man darauf achten, dass das Gehäuse der Lampe nicht überhitzt. Andernfalls können die Elemente zerstört werden oder die Goldschicht beschädigt werden. Es handelt sich dabei um ein Gegenüberstellung von Vor- und Nachteilen – doch dieses Problem lässt sich leicht lösen, wenn man von Anfang an die Kühlung richtig gestaltet.
Praktische Anwendung
Man kann diese Lampen einfach in die vorhandenen IR-Härtungs- oder Trockenheitssysteme einsetzen. Die Zykluszeiten verkürzen sich sofort. Zudem beseitigen die goldbeschichteten Reflektoren die störenden Kaltstellen auf dem Wafer. Dadurch entsteht ein gleichmäßiges Wärmeprofil – was bedeutet, dass alle Wafer aus demselben Batch gleichwertig sind. Wir haben diese Lampen für Betriebe entwickelt, in denen es ein Albtraum ist, die Produktion anzuhalten, um eine Lampe auszutauschen.
Ein kleiner Tipp: Wenn Sie diese Lampen einbauen, nehmen Sie sich etwas Zeit, um die PID-Controller richtig einzustellen. Da die Reflektoren viel effektiver sind, reagiert das System schneller als gewohnt.