ウェハ乾燥用赤外線ヒーター

アウトリソグラフィフロアでは、ウェハーが最終すすぎから出て時計が動き始める。従来の乾燥方法では、水跡、薄膜、そして目に見えない微粒子が残り、それがフォトレジストの欠陥として現れる。300mmファブでClass 1のクリーンネスを維持している場合、これはリスクではない。歩留まりがそのまま損失になる。...