ゴールドコーティングされたツインチューブ型IRランプを使えば、適切な熱負荷を実現できます。半導体製造工場では、わずかな温度の狂いでもウェーハが壊れてしまいます。これは非常に重要な問題です。私たちの研究によると、ツインチューブ型でゴールドコーティングされたIRランプを使用することが、無駄なエネルギー...

ファブの現場では、よく知られている通り、焼成温度が0.5℃変動するだけでフォトレジストの特性が変わり、たった一つの粒子がチップの機能を損なうことになります。中波石英ヒーター管は、まさにそのような環境で使用されます。ここでは熱制御は単なる設定値ではなく、プロセス自体なのです。 重要なのは何か 中波石...