洗浄後のウェーハの乾燥方法

製造現場において、洗浄が終わったばかりのウェーハは、まだ完全に処理が終わっていない状態です。水滴や微粒子、不適切な乾燥処理による熱ストレスによって、次の工程に進む前にウェーハの品質が損なわれてしまうことがあります。実際の課題は、単に水を除去するだけではなく、表面状態や熱管理を徹底的にコントロールす...