なぜ、秒単位で時間が重要になる場面においては、赤外線加熱の方が強制送風より優れているのか？ もし依然としてウェーハを加熱するために強制送風を利用しているのであれば、それはまるで待っているだけの状態です。 強制送風の仕組みを考えてみてください。空気を加熱した後、その空気がウェーハを温めるのを待つ必要...

揮発性化学物質の近くで赤外線ヒーターを使用する際の安全対策 ウェーハ処理において化学洗浄を行うとき、通常は熱に弱い溶剤が使われます。これらの溶剤は可燃性があり、場合によっては爆発性もあります。高温の赤外線ランプをその中に入れるのは、まさにトラブルを招く行為です。 重要なのは、ランプ自体を「より安全...

水素センサーの熱制御を適切に行うために 水素センサーを製造するには、バランスを取る必要があります。微小な領域での加熱・冷却が求められるため、少しでも間違えると、そのロット全体が廃棄処分になってしまいます。 そのため、私たちは短波長の赤外線（IR）システムを利用しています。薄膜を迅速に加熱したり、基...

熱に頼るのはやめよう：データを製造現場に活用する 新しい製造プラントを計画しているなら、おそらく熱に関して多くの時間を費やしてきたことでしょう。しかし、単に熱があるだけでは不十分です。その熱が実際に何をしているのかを知る必要があります。 ほとんどの従来の加熱要素は、単にエネルギーを供給するだけで、...

IRを利用したMEMSの乾燥処理 MEMSセンサーの製造に携わったことがある人なら、ウェーハの乾燥処理がいかに面倒かを知っているでしょう。わずかな水分やイオン汚染があっただけで、そのロット全体が廃棄されてしまいます。長年にわたり、対流式オーブンを使ってきましたが、正直なところ、ウェーハを乾燥させる...

ウェーハ製造ラインにおいて、バイオセンサーの製造には、熱変動を許容する余地がありません。フォトレジストを加熱する際に0.5度程度の温度変動があっても、線幅が変わったり、感度が低下したりして、製造が中断されてしまいます。そのため、私たちは赤外線ランプを設計する際に、数時間にわたって安定した温度を維持...